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3、景深 景深是指焦点前后的一个距离范围，该范围内所有物点所成的图像符合分辨率要求，可以同时聚焦成清晰的像。即景深是可以被看清的距离范围。如果图像景深大，那么扫描电子像就更附有富有立体感，这样就可以进行立体观察和立体分析。 SEM景深示意图 tan a=a=r/（D/2） a为电子束入射角 景深=D=2r/a r为电子束直径 假设CRT光点大小为0.1mm=100um 2r=0.1/M（放大倍率） a=R/WD D=100um/（M*a）=（100um*WD/M*R） 由上式，当在某一放大倍率不变下，要增加景深则必须减小电子束的发散角（a），要减小a可以使用较小的物镜孔径或者增加工作距离。增加工作距离后通过调焦使电子束打在样品表面，这时的入射角a就会减小，前提要改变电子束在物镜的偏转角度，使其能够打在样品表面。 如果单独考虑景深，增加工作距离会得到比较大的景深。但是如果综合考虑，增加工作距离由电子束大小公式得出电子电子束将会增加从而降低分辨率，也就是说最佳景深和最佳分辨率无法同时兼得，必须依观察样品的目的来选择。 电子束入射角与景深的关系 工作距离与景深的关系 末孔径-200um WD-10mm 末孔径-200um WD-38mm 末孔径-600um WD-10mm SEM的最佳分辨率由三个因素限制：（1）可获得的最小电子束大小（2）提供满意影像所需的最小电子束电流（3）电子束与样品的作用范围；通常SEM使用的是二次电子讯号成像，其产生的范围和电子束面积差不多，所以SEM的最佳分辨率仅有前两个因素决定。 1、实际最小电子束大小 当放大倍率很高时，相应的只有将电子束控制的很小才能够得到更小的扫描幅度。但是当电子束很小时就必须考虑到像差。理论上，电子束可以聚焦于一点，形成一针点探束，但实际上，因为透镜并非完全理想，所以探束是一个圆斑并非一点，圆斑直径越小，分辨率就越高。 样品上的电子束大小由聚光镜强度、工作距离及入射角a决定，但是可获得的最小电子束的直径受到球面像差（球差）、孔径绕射像差（象散）、色散像差（色差）等限制。 球差：是由于电子透镜中心区域和边缘区域对电子会聚能力不同所产生的。球差与透镜的性质有关，但难以通过校准的方法进行补偿，对分辩本领的影响最大。 色差：是电子的能量不同，从而波长和运动轨迹不一所造成的。 波长λ=h/mv，由公式可知不同质量、速度的粒子波长不同。 因为能量不同的电子束将沿着不同的轨道运行，根据洛伦兹力公式f＝qvB，能量越大的电子其动能大，质量不变动能只取决于速度。所以说不同能量的电子受到的洛伦兹力不同其运动的轨迹也不同，就造成了色差。色差主要来自加速电压的波动和非弹性散射的能量损失。使用小孔径光阑可以屏蔽散射角大的非弹性散射电子束，减少色差。 六、影响分辨率的几大因素 象散：主要来自于透镜磁场的不对称性。而磁场的不对称起因主要有内部污染，机械不对称性等因素，可以通过附加磁场的电磁消象散器来矫正。 因为存在球差、象散、色差，所以实际得到的电子束更大。 d2=dg2+ds2+dd2+dc2 其中dg为显微镜调整后得到的理论直径；ds为球差（正比于a3）；dd为象散（反比于a）；dc为色差，其值很小通常可以忽略。下表是象散等因素电子束大小的关系： 入射角a （*10-3弧度） 10.30 8.30 6.30 4.69 3.90 2.70 1.90 球差 ds（?） 109.27 57.17 25.00 10.38 5.93 1.96 0.68 象散 dd（?） 9.47 11.75 15.49 20.76 25.02 36.14 51.36 电子束大小 d（?） 109.68 58.37 29.41 23.21 25.71 36.20 51.37 由于存在ds正比与dd反比于a的关系所以随着a的减小，得到的电子束直径大小会是一条曲线，而非一直下降的直线。 2、电子束电流 电子束电流大小由三个因素决定： （1）电子源亮度 （2）聚束镜强度 （3）物镜孔径 当电子束直径持续减小时，电流也会跟着降低，最后电流会降低不足以产生可用的信号，因此SEM的最佳分辨率就是电流能够产生足以成像的信号时的最小电子束直径。 电子束电流10pA 电子束电流1000pA 高电流—电子束密度高，产生的二次电子数目多，图像细致。 低电流—电子束密度低，产生的二次电子数目少，图像粗糙。 推论假设 假设一般点的信号强度为S，特别点信号强度为SMAX，其对比（C）的定义为： C=（SMAX-S）/SMAX 推论中假设信号S时由n个电子所形成的信号，其杂讯值为n1/2，对信号S来说其信号-杂讯比=n/n1/2=n1/2。当信号电子数（n）小的时候，信号/杂讯的比值太小，