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纳米压痕/划痕技术在表征薄膜/涂层体系力学性能中的应用 ;实验目的;结合纳米压痕实验与ABAQUS有限元分析，表征电沉积镍镀层材料的应力应变关系；
用纳米划痕技术表征PZT压电薄膜的界面强度；
用纳米压痕技术表征PZT压电薄膜的界面强度。;实验原理;压痕示意图; 2um;Substrate;材料应力应变关系遵循幂强化规律： ;压入过程数值模拟;压入过程数值模拟的结果;纳米划痕技术表征薄膜/涂层体系的 界面强度的原理; 采用圆锥形金刚石压头，在连续增加的载荷下划入PZT薄膜。在最大载荷为100mN的范围内，金刚石压头横向划过的长度为700μm。 ;纳米压痕技术表征薄膜/涂层体系的 界面强度的原理;PZT薄膜试件的压痕载荷-深度曲线;实验设备及材料;实验步骤与方法;⑴打开玻璃小窗，搁置样品;(2) 开启电脑，打开仪器。;(3) 打开软件，进行H-Pattern和Air Indent校准。;(4) 选择位置，设定载荷、时???参数，进行压痕实验。;(5)实验完毕，拷贝数据，关闭仪器，最后关闭电脑。;纳米压痕测试的注意事项 ;ABAQUS模拟压痕过程 ;实验报告要求; 谢谢大家！
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