扫描电镜_SEM浅析.ppt

扫描电镜Scanning Electron Microscope SEM;主要内容;S4800;一、SEM的结构、原理;;;b.电子束系统;c.成像系统; 2、原理;二次电子;SEM的基本原理;二、SEM的操作;SEM的分辨率主要受到电子束直径的限制，这里电子束直径指的是聚焦后扫描在样品上的照射点的尺寸。对同样品距的二个颗粒，电子束直径越小，越得到好的分辨效果，电子束直径越小，信噪比越小 。;SEM的焦深是较好光学显微镑的300－600倍。 焦深大意味着能使不平整性大的表面上下都能聚焦 。;从物镜到样品最高点的垂直距离。 如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。 通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。;注意;扫描电子显微镜常见的制样方法有:;金属涂层法;喷金装置;化学刻蚀法;SEM VS TEM 优点;三、SEM在高分子研究中的应??;扫描电子显微镜的工作内容;样品展示;纺丝;球晶;多孔隔膜;能谱;四、仪器的最新进展;SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。 ;五、同类仪器的比较;;美国FEI公司是一家在美国NASDAQ上市的高科技公司，主要面向材料科学、生命科学、半导体、数据存储和工业领域。FEI公司秉承原飞利浦电子光学在电子光学领域的优秀传统和技术，结合FEI先进的聚焦离子束（FIB）技术，将微观分析带入三维新世界!公司在北美和欧洲拥有研究开发中心，在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务，凭借其出色的透射电子显微镜、扫描电子显微镜、聚焦离子束和“双束”（电子束＋离子束）设备等产品.;高分辨率场发射扫描电镜ΣIGMA HD/VP;蔡司推出的ΣIGMA HD/VP是一款高分辨率场发射扫描电子显微镜，拥有第三代GEMINI镜筒，可变压强性能加上多种纳米工具的使用，不用花费大量时间，使高分辨率成像和非导体样品的分析成为可能，该场发射电镜适用于材料领域、失效分析、过程控制、纳米技术等。ΣIGMA HD/VP超大的样品室适合各种类型探头及配件的选择。;安捷伦的8500场发射扫描电子显微镜 ;操作简便，结构小巧，可以方便的配置应用于常规实验室中。该系统创造性地优化了低压成像技术，最大程度的提高了图像的表面对比度。安捷伦8500安装快速，操作简便。该系统无需额外的辅助设备，仅需要一个外接电源插头，且其大小仅如常用的镭射打印机，但是其功能强大，完全可以媲美其他需要安装在中央实验室中的、昂贵的大型场发射扫描电子显微镜。安捷伦8500场发射扫描电子显微镜的性能稳定，再现性高，是行业内性价比最高的场发射扫描电子显微镜。 ;超高分辨热场发射扫描电子显微镜;JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜，它几乎集成了当今扫描电镜的全部前沿技术，最大200nA的大电流在保证高分辨率的同时，得到高速样品分析结果，空间分辨率极高，对导电性差的样品也有很多解决办法。JSM-7600F自动化程度高，操作直观方便，可以称得上是一款高档次的场发射扫描电镜。 ;谢谢！