扫描电镜第一、二章浅析.pptVIP

扫描电子显微分析技术;概述;Scanning Electron Microscope -------SEM Electron Probe Micro Analyzer-------EPMA SEM和EPMA都用一束精细聚焦的电子束照射检测的区 域，电子束和样品发生相互作用，产生各种信号：俄歇电子、二次电子、背散射电子、阴极荧光、特征X射线等， 可用来研究样品的许多性质，如形貌、成分、晶体结构等。 SEM+EDS 相互功能渗透 EPMA+扫描系统+成像系统 ;扫描电镜的应用范围; 扫描电镜的特点 扫描电镜分辨率高 放大倍率宽 图像景深好 样品制备简单 综合分析能力强 在很多领域得到广泛应用。; 1、扫描电镜分辨率高;2、放大倍率宽;3、图像景深好;4、样品制备简单;5、综合分析能力强;花粉;知了翅膀;蝴蝶翅膀局部放大;神经元;昆虫;BSE电子图像;扫描透射加背散射和能谱附件分析碳管中含铁样品;O元素在稻壳中的面分布图;多层金属膜的能谱分析——面分布和线扫描图;电子背散射衍射花样图;单根Pt纳米柱性能测量;小结;二：电子光学知识初步介绍;电子枪; 热电子枪由阴极、栅极和阳极组成。阴极为负电位，发射热电子；栅极为负电位，比阴极电位还负；阳极为正电位，加速热电子。这三极形成复合场，起到聚焦作用，从而在栅极和阳极之间形成一个截面直径d0发散角为a0的交叉束斑。;常规型 ： 分辨率： 3nm 加速电压： 几千伏~几十千伏 钨灯丝 发射效率低，发射面积较大（约 100μm）亮度为105，寿命较短 六硼化镧灯丝 亮度和电子源直径比钨灯丝要好，约20μm，亮度为106，但要求较高的真空 ; 场发射 场发射电子枪由阴极、第一阳极和第二阳极组成。阴极为负电位，发射电子；第一阳极为正电位，抽取电子；第二阳极为正电位，加速电子。 ;场发射电子枪： 冷场发射：阴极在室温和高真空环境中，完全由于高压电场产生的电子发射过程。冷场发射的W单晶是310取向，310取向的逸出功最小：4.2eV。;优点： 冷场发射的电子束直径小、发射电流密度高，亮度为108，能量扩展优于热场发射，冷场分辨率略高于热场发射SEM，特别是低压，由于色散小提高了分辨率。 缺点： 束流不稳定，随着时间延长，灯丝上会吸附气体分子，导致发射电流降低,需要做flash，发射面积较小, 可配EDS和灵敏度高的EBSD ，对WDS、CL等不佳;肖特基场发射电子枪;优点： 束流大（亮度为108 ）、束流稳定、 可以连续工作。一般半导体工厂在线检测都用热场发射SEM。 多功能分析：可配EBSD、WDS、EDS、CL等附件。 ;SEM中的磁透镜;无象差时样品上的束斑直径假如认为不存在象差，最终束斑的亮度仍应等于亮度β 最终束斑电流密度为： 但电子束斑成高斯分布，无象差时探针直径（高斯直径）： ;电子光学系统中的象差;有效束斑直径;扫描电镜中几种物镜的设计;半浸没式物镜;小结