1RENA清洗设备操作规程A0.docVIP

浙江元众新能源有限公司 RENA开关机规程文件编号Q/YZEJ001-2011版本号第A版 第0次修订实施日期2011-2-18页 次第  PAGE 3 页 共  NUMPAGES 3 页 文 件 修 订 记 录 序号修 改 内 容修改人日 期版本1首次发行李成2011.03.30A/0 编制/日期审核/日期审批/日期1． 目的 确保RENA设备安全、高效 、稳定的运行 2． 适用范围 RENA 一次清洗和二次清洗 3 开机前检查 3.1 检查设备顶部的压缩空气，并确认气体压力达到0.6±0.05MPa； 3.2 确认全部吹气阀门都打开。包括：刻蚀槽，漂洗1，碱槽，漂洗2，酸洗槽，漂洗3； 3.3 检查设备各气管，水管有无漏气漏液现象； 3.4 检查各电机进出水阀门及各补排液阀门手动开关是否与标示状态相符； 3.5 确认电控柜内无异物及线路脱落烧焦现象，电源已打开，电源指示灯亮； 3.6 各槽加水确认液位计显示正常，手动开启各循环泵并确认运行无异音； 3.7 手动点击各补液排液气动阀的开关按钮，确认可正常开关； 3.8 纯水压力应在 4 bar，温度在 20 摄氏度； 3.9 冷却循环水进水温度应在 20 摄氏度以下，进水回水压力差应在 3 bar 以上； 3.10 在界面中，点击Ｆ10 查看各 Media Supply 均正常供应（箭头均为绿色）。 4 开机 4.1 打开电控柜门，合上总电源，点击 Login 进入登陆界面，输入用户名及密码，点击 ok 进入，确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态。（注：建议根据不同用户建立不同访问权限的用户名及密码）； 4.2 确认显示屏幕上显示各槽溶液均已满槽（即 Full DI和Full Chem)和设备门窗均关闭； 4.3 确认各模块有无报警信息，若有任何异常，通知当班工艺人员和设备人员； 4.4 点击 Mode Auto 按钮，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿色“Auto”。 随后点击“start”按钮即可自动运行； 界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色“in process”，即设备进入正常生产状态。 5 关机的操作过程 5.1 点击界面下方的“Stop”按钮。 5.2 进入“Manual”菜单中“Etch bath”、“alkaline”、“HF/HCL”、“rinse”点击“Drain”,即把相应槽中的化学品溶液排到 Tank内或化学品排放管道。点击 F10 退回主菜单，确认各模块显示黄色“not ready”和黄色“draining”。 5.3 等待各槽排液完成，在相应模块上显示为黄色“not ready”。表明液体排完。 5.4 用水枪冲洗各工艺槽的喷淋管和槽体，并清洁设备表面。 5.5 检查各门的位置，正确地调整好它们。 5.6 点击右上角的“Log off”，跳出一个对话框。点击对话框中“Log off”，门将被关闭。 5.7 若门未正确地调整好位置，Alert 警报会出现。再次登录，调整好门的位置，按 F1 消除警报，再退出。 5.8 关闭设备的电脑电源并关闭电控柜的总电源。