光学制造第13章镀膜讲课.pptVIP

第13章 光学镀膜;第一节 绪 论;二、薄膜的作用;;;三、薄膜的分类及材料;四、薄膜的制备方法;五、光学薄膜的理论基础;六、光学薄膜的应用;规整膜系： 各层薄膜的光学厚度为设计波长的四分之一。 设计波长（参考波长、中心波长） 膜系：G/HLM/A G代表基底 H（L、M）代表高（低、中）折射率膜层并且光学厚度为设计波长的四分之一 A代表出射介质（一般为空气）;2.1 减反射膜 (AR);1、单层AR膜的光谱;2、双层减反射膜;三层减反射膜 G/MHHL/A G/M2HL/A;大功率太阳能反射镜;;金属反射膜的特点; 2、金属-介质组合高反膜;“金属—介质”组合存在的问题;3、介质高反膜;多层介质高反射膜 G/HLHLH/A;G/(HL)4H/A;G/0.9a0.9b0.9a0.9b0.9a0.9b0.9a0.9b0.9ab1.2a1.2b1.2a1.2b1.2a1.2b1.2a1.2b/A;2.3 分束膜; 中性分束膜;;G/Ag(5nm)/A;G/Al(5nm)/A;G/Cr(15nm)/A;G/Cr(16nm)Ni(6nm)/A;金属分光镜的正确放置;G l ZnS-Ag-ZnS l A 可见光的中性1：1分光，R+T~90%. 厚度为：280，1.2，120;单层分光膜 G/H/A G/TiO2/A;多层分光膜 G/HLHL/A 入射角45度 2.35 1.38