03 粒子(束)与材料的相互作用.ppt

第一章 总论 (之三) 粒子（束）与材料的相互作用 ;主要内容;第一节 电子束与材料的相互作用;一、散射 ;1. 原子核对入射电子的散射 ;2. 核外电子对入射电子的散射 ;3. 散射截面 ;4. 电子吸收 ;二、电子与固体作用产生的信号 ;1. 电子与固体作用产生的信号;IS表示二次电子流，它包括（真）二次电子和特征二次电子（俄歇电子），从表面发射出去的二次电子流与入射电子流的比值（IS/I0）称为二次电子产额，用?表示。 二次电子产额与电子能量和入射角的普遍关系;形貌衬度原理;13;粉体形貌观察;IX表示电子激发诱导的X射线辐射强度 ①连续的X射线 ②特征X射线 ③X射线荧光（二次特征X射线）;2. 电子非弹性散射平均自由程和信息深度 ;平均自由程 ?e;入射电子产生的各种信息的深度和广度范围 (a) 电子束散射区域形状(梨形作用体积) (b)重元素样品的电子束散射??域形状(半球形作用体积) 1-入射电子束；2-俄歇电子激发体积；3-样品表面；4-二次电子激发体积；5-背散射电子激发体积；6-初级X射线激发体积 ;二次电子;3. 电子能谱 ;三、电子激发产生的其它现象（自学）;回顾： 第二节 各类特征谱基础 ;回顾 第三节 X射线的产生及其与物质的相互作用 ;回顾;1. 电子与固体作用产生的信号;表3-1 电子与材料相互作用产生的信号及相应的分析方法 ;第二节 离子束与材料的相互作用 ;一、散射 ;1. 弹性散射 ;散射后离子的能量 E1=k2E0 其中 碰撞后离子的能量损失与靶原子的质量有关，离子与轻元素靶原子碰撞的能量损失比与重元素靶原子碰撞的能量损失大。 ;2. 非弹性散射 ;二、溅射与二次离子 ;2. 二次离子 ;表3-2 离子与材料相互作用产生的信号 及据之建立的分析方法 ;思考题 P50