扫描电子显微镜1教案.pptVIP

;扫描电子显微镜与电子探针 (Scanning Electron Microscope简称SEMand Electron Probe Micro-analysis简称EPMA );扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope简称SEM;前言 第一节 电子与样品物质的交互作用 第二节 扫描电镜原理、结构及性能 第三节 电子图像分析;前言 什么是扫描电子显微镜？;History of SEM;直接观察固体样品的表面，得到立体图像，不必复型特点可放大十几倍到几十万倍景深大，放大图像立体感强样品处理简单样品尺寸可较大 120*80*50mm三度空间平移旋转成分分析;例子;与普通显微镜的差别;第一节 电子与样品物质的交互作用;（一）电子与样品物质的交互作用区; 分类： 弹性散射仅使入射电子运动方向发生偏离， 引起电子在样品中的横向扩散。 非弹性散射改变电子的运动方向，同时能量衰减，直到被样品吸收，因此限制入射电子在样品??的扩散范围。 ; 影响因素： 原子序数、入射电子的能量、样品的倾斜角。;弹性散射截面正比于原子序数，即电子在低原子序数的固体样品中，电子偏离原方向的程度较小，而穿透的更深；; 同一物质的样品，作用区的尺寸正比于入射电子束的能量。能量取决于加速电压。; 因为电子束有向前散射的