压电式传感器概论.pptVIP

传感器原理及应用;第五章 压电式传感器;逆压电效应：当在电介质的极化方向上施加电场(电压)作用时，这些电介质晶体会在一特定的晶轴方向上产生机械变形或机械压力；外加电场消失时，这些变形或应力也随之消失，此种现象称为逆压电效应，或称电致伸缩现象 ;式中： qi ———i面上的电荷密度(C/cm2)； Qi —— i面上的总电荷量(C)； ?j —— j方向的应力(N/cm2)； Fj—— j方向的作用力； Dij——材料的压电常数(C/N)，(i=1，2，3，j=1，2，3，4，5，6)。 i ——表示晶体的极化方向，当产生电荷的表面垂直于x轴(y轴或z轴)时 i=1(或2，3) j—— 1，2，3，4，5，6，分别表示沿x轴、y轴、z轴方向的单向应力，和在垂直于x轴、y轴、z轴的平面(yz平面、zx平面、xy平面)内作用的剪切力。 dij的符号 ——电场方向指向晶轴的正向时为正，反之为负。;晶体在任意受力状态下所产生的表面电荷密度可由下列方程组决定 ; 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，在晶体学用三根互相垂直的轴来表示， Z－Z轴——光轴， X－X轴——电轴，经过正六面体棱线，并垂直于光轴 Y－Y轴——机械轴，与X－X轴和Z－Z轴同时垂直;纵向压电效应——沿电轴X－X方向的力作用下产生的压电效应 横向压电效应——沿机械轴Y－Y方向的力作用下产生的压电效应 沿光轴Z－Z方向受力则不产生压电效应。 只在垂直于X轴的平面上积聚电荷;天然石英晶体外形; 从石英晶体切下晶体切片后，在其垂直X轴方向的两个表面用真空镀膜或沉银法得到两个电极面。;纵向压电效应：当晶片受到沿X轴方向的压应力σX作用时，晶片将产生厚度变形, 并发生极化的现象;横向压电效应：当晶片作用力是沿着机械轴的方向时，晶片将产生宽度方向的变形, 并发生极化的现象则为横向压电效应。其电荷仍在与X轴垂直平面上出现，; ①产生压电效应时，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之 间呈线性关系；事实表明，逆压电效应时两者也成线性关系 ②晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压 电效应； ③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 此外，石英晶体在切向力作用下也会产生压电效应;(a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影; 当外力0时，正、负离子分布在正六边形顶角上， 形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，此时 正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 ; 在X轴的正向出现负电荷，在Y、Z方向则不出现电荷。它在X方向产生正压电效应，而Y、Z方向则不产生压电效应。 晶体在Y轴方向力FY作用下的情况与FX相似。当FY＞0时，晶体的形变与FX0相似；当FY＜0时相似。由此可见，晶体在Y（即机械轴）方向的力FY作用下，使它在X方向产生正压电效应，在Y、Z方向则不产生压电效应。 ;5.2.2 压电陶瓷 1．压电陶瓷的压电效应;2．压电陶瓷压电效应产生的机理 压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向，从而存在一定的电场。在无外电场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷内极化强度为零; 陶瓷片内的极化强度是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。而在陶瓷片的电极面上吸附来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外界的作用。所以陶瓷片对外部呈现带电性; 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，陶瓷片将产生压缩形变，片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电荷现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状(这是一个膨胀过程)，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。这种现象就是陶瓷的正压电效应。 ; 同样，若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚电荷之间距离也增大，陶瓷片沿极化方向产生伸长形变。同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的现象，就是逆压电效应。;5.2.3 压电材料的主要特性;（1）压电晶体 石英晶体（SiO2） 是一种具有良