Helicon Plasma07.doc

Helicon Plasma 何谓Helicon [Helicon原意] 指大型螺旋形状大号，需要扛在肩上吹。 [Helicon在等离子体中意义] 是一种波的名称,电场矢量在空间绕传播方向螺旋旋转。 在平面上： Helicon波处于哨声波的低频段，与ECR等离子体中的电子回旋波同属一支。 频率范围: 中文音译名：赫利孔波 Helicon 等离子体源结构： [问题] helicon plasma 由电子回旋共振产生？ Helicon产生：（1）振荡电磁场 激励电源频率：几MHz-----几十MHz （2）直流磁场 磁场：几十高斯---几百高斯 典型天线类型 (a)环形天线 (b)半匝天线 （c）名古屋III型 （d）半螺旋形 （e）双马鞍形（Bosewll） （f）平面螺线 3. Helicon plasma 的重要特性 三个放电模式 E—H—W Ne—Prf 半螺旋形天线 半匝天线 不同放电模式的Ne径向???布 径向密度分布峰化 缺点： 不同模式的波状态 磁场强度对密度的影响 物理原因：----等离子体产生机制----电子加热机制 朗道加热。