传感器与检测技术第六章课题.pptVIP

第6章 压电式传感器;6.1压电效应 6.2压电材料 6.3等效电路 6.4测量电路 6.5压电式传感器的应用举例 6.6影响压电式传感器精度的因素分析 本章要点;6.1 压电效应; 压电式传感器大都是利用压电材料的压电效应制成的。在电声和超声工程中也有利用逆压电效应制作的传感器。压电转换元件受力变形的状态可分为图6-1所示的几种基本形式。;下页;下页;下页;图6-2 石英晶体的晶轴;下页;下页;下页; 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 ;图6-4 压电陶瓷的极化过程和压电原理图;下页;用矩阵表示：;6.2 压电材料; 分类： ; 多晶体（压电陶瓷） 钛酸钡压电陶瓷：压电常数高，价格便宜，但 机械强度较差； 锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT）：性能教稳定， 压电常数较高； 铌酸盐系压电陶瓷：居里点较高和机械强度较 高； 铌镁酸铅压电陶瓷：居里点和压电常数较高， 可在高温及高压下工作。;下页;6.3 等效电路;当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)