传感器原理及应用-第6章 - 压电式传感器.pptVIP

;;6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用;一、压电效应的基本概念;一、压电效应的基本概念;一、压电效应的基本概念;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，有一定的极化方向，从而存在电场。 ;在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本不变化，即剩余极化强度很大，这时材料才具有压电特性。 ;陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来： 在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。;;Ｅ;（3）电荷量与作用力的关系 与石英晶体不同，通常取压电陶瓷的极化方向为z轴，垂直于z轴的平面上任何直线都可作为x或y轴。;二、压电效应的基本原理;二、压电效应的基本原理;6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用;（1）转换性能：要求具有较大的压电常数。 （2）机械性能：机械强度高、刚度大。 （3）电性能：高电阻率和大介电常数。 （4）环境适应性：温度和湿度稳定性要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 （5）时间稳定性：要求压电性能不随时间变化。;石英晶体的两种类型： 天然和人工培养。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。;压电陶瓷主要有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷等。 （1）钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1:1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 优点：介电常数和压电系数大（约为石英晶体的50倍）。 缺点：居里点温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。;压电半导体材料有ZnO、CdS、CdTe等，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。 用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可检测力和温度等参数。;四、新型压电材料;6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用;压电式传感器基本原理：压电材料的压电效应，即当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷或电压输出。 ;压电式传感器在有些测量中需要预载：压电式传感器在测量低压力时线性度不好，这主要是传感器受力系统中力传递系数为非线性所致，即低压力下力的传递损失较大。为此，在力传递系统中加入预加力，称预载。 预载除了消除低压力使用中的非线性外，还可以消除传感器内外接触表面的间隙，提高刚度。 ;单片压电元件产生的电荷量甚微，为了提高压电传感器的输出灵敏度， 在实际应用中常采用两片或两片以上同型号的压电元件粘结在一起。 常见粘结两种方法：并联和串联。 ;二、压电元件的连接方式;当压电晶体承受应力作用时，在其两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。 压电传感器看成一个电荷源与一个电容并联的电荷发生器。 电容量为;当两极板聚集异性电荷时，板间就呈现出一定的电压。 压电传感器也可看成一个电压与一个电容串联的电压源。 电压为;实际使用时，压电传感器通过导线与测量仪器相连接，连接导线的等效电容CC、外加放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci对电路的影响就必须一起考虑进去。当考虑了压电元件的绝缘电阻Ra以后，压电传感器完整的等效电路可表示成电压等效电路和电荷等效电路。;6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用;前置放大器的作用： 一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；二是放大传感器输出的微弱电信号。 ;在等效电路中，电阻R=ReRi/(Re+Ri),电容C=Ce+Ci，而ua=q/Ca，若压电元件受正弦作用力为 ;运算放大器输入阻抗极高， 放大器输入端几乎没有分流，故可等效成略去Ra和Ri并联电阻的电路。 ;二、电荷放大器;6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用;§6.5 压电式传感器应用 ;§6.5 压电式传感器应用 ;§6.5