Chapter 1 固体的晶体结构-R1(2012.1.16).ppt

Chapter 1 固體的晶體結構 Chapter 1 固體的晶體結構 Chapter 1 固体的晶体结构 本章預定討論內容 描述固體的分類―非晶、多晶，及單晶。 討論單元胞的觀念。 描述三種簡單的晶體及決定這些結構的體積以及面積原子密度的方法。 描述鑽石晶體結構。 簡要地討論形成單晶半導體材料的方法。 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.1 半導體材料 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.2 固體的型式 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.3 空間晶格 1.3.1 基本胞及單元胞 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.3.2 基本晶體結構 * Chapter 1 固體的晶體結構 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.4 鑽石結構 * Chapter 1 固體的晶體結構 鑽石結構 續 * Chapter 1 固體的晶體結構 鑽石結構 續 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.5 原子的鍵結 離子鍵 ionic bond 共價鍵結 covalent bonding 金屬鍵結 metallic bonding 凡得瓦 Van der Waals 鍵結 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.6 固體中的缺陷及雜質 1.6.1 固體中的缺陷 晶格振動 lattice vibration 點缺陷 point defect 空穴 vacancy 晶隙 interstitial 佛朗克缺陷 Frenkel defect 線差排 line dislocation * Chapter 1 固體的晶體結構 固體中的缺陷 * Chapter 1 固體的晶體結構 固體中的缺陷 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.6.2 固體中的雜質 替代性 substitutional 雜質 晶隙 interstitial 雜質 摻雜 doping 技術 雜質擴散 impurity diffusion 離子佈植 ion implantation * Chapter 1 固體的晶體結構 固體中的雜質 續 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.7 半導體材料的成長 1.7.1 溶質成長 柴可拉斯基法 Czochralski method * Chapter 1 固體的晶體結構 * Chapter 1 固體的晶體結構 1.7.2 磊晶成長 磊晶成長 epitaxial growth 同質磊晶 homoepitaxy 異質磊晶 heteroepitaxy 化學氣相沉積 chemical vapor-phase deposition, CVD 液相磊晶 liquid-phase epitaxy, LPE 分子束磊晶 molecular beam epitaxy, MBE * Chapter 1 固體的晶體結構 Chapter 1 固體的晶體結構 Chapter 1 固體的晶體結構