《感测技术》 第四章 电容传感器.pptVIP

第四章 电容传感器 第一节 电容传感器工作原理 第二节 电容传感器测量电路 第三节 电容传感器的应用 ; 电容传感器是将被测量转换成电容量的测量装置，它与电阻传感器和电感传感器相比，具有如下优点： ①测量范围大，ΔC/C 可达100%； ②灵敏度高，相对变化量可达10-7； ③动态响应时间短，可动部分质量小，固有频 率高； ④结构简单、适应性强。; 第一节 电容传感器工作原理;一 、变面积电容传感器 常用的有角位移型和线位移型两种 与变间隙型相比，适用于较大角位移及直线位移的测量;;Kθ仅与S/d 有关，而与角位移θ无关 ; KX 仅与b/d 有关，与直线位移X 无关 加大极板面积S 可以提高灵敏度，但通常结构尺寸不允许作得很大 减小极间距d 可以提高灵敏度，但过小的d 可能导致极间介质被电场击穿; 二、变介质的介电常数（ε）型 改变极板间介质的介电常数－改变电容量的大小 常用来检测容器中液位的高度或片状电介质厚度;C1是高度为h1的不导电液体为电介质的部分的电容量; 以高度为h2的气体为介质的部分电容量C2; 电容器总电容量C 为C1和C2相并联; h、R、r及ε1、ε2均为常数 A和B为线性比例系数 总电容量C 仅与液位高度h1成正比;d;d;d;d;d;d;C1;;C1;; ;对线性没有要求(待测变量εr和d1基本不变或变化甚小);这种传感器大多用于测量电介质的厚度(图a)、位移(图b)、液位(图c)。 可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量温度、湿度 (图d)等;;原理：变介质型 变极距型； 特点：非接触式测量 应用：纸张、绝缘薄膜等;电容微位移计;进行微位移测量时，ΔX＜＜d0（工程中一般取ΔX/d0=0.02～0.1），则上式具有近似的线性关系;非线性分析：;用端基法求线性度：;实际特性与理论特性（与端基直线）之间的非线性误差绝对值为：;非线性误差随着d0的减小而增大 为了保证一定的线性度，应限制动极板的位移量。通常规定测量范围 △X d0，此时，传感器的灵敏度近似为常数 在实际应用中, 为了提高灵敏度、减小非线性误差, 大都采用差动式结构; ; 1．变d 型 图中??上下两电极板位置固定，中间电极板可沿X 方向上下移动 初态：中间极板居中，d1=d2=d，此时电容C1=C2=C0=εS/d ，取差动输出 ΔC =C1-C2=0 。 当中间极板移动量为ΔX 时，取差动输出; 2．变S 型 图4－5（b）是变极间有效面积型差动电容传感器。上下两圆筒电极固定，中间圆筒电极可沿X 方向移动；当中间圆筒电极上下移动时，上下电容器极板的有效面积S1和S2作反向变化，于是电容C1和C2一增一减，构成差动工作方式。 设初态时中间圆筒电极居中，即h1=h2=h ， C1=C2=C0= ，取差动输出 ΔC = C1 - C2 = 0 ; ; 第二节 电容传感器测量电路 ; 1. 单臂桥 C1、C2、C3为固定标准电容，CX为传感器电容; 2．差动桥 C1和C2为传感器电容 （1）初态：两传感器电容C1=C2=C ，此时电桥空载 输出 ; 3．紧耦合桥 C1和C2为差动电容传感器两电容 L0为两紧耦合线圈的自感，其互感为M ;; （3）测量桥的灵敏度KB ; 曲线1：完全不耦合 灵敏度 ， 谐振点在 处 即 时，输出Uo急 剧增加，灵敏度KB＞100。 在谐振点的两侧，灵敏度 KB急剧下降，且不稳定。; 曲线2：紧耦合 谐振点在ω2L0C =0.5处 当ω2L0C＞1时，KB趋于2， 在很宽的频域内保持稳定 因而，对于紧耦合测量电 桥，只要适当地选择L0、 C 和ω，使得灵敏度KB=2， 此时测量电桥输出电压 U0=2ΔCU/C 为线性输出 状态 ; 二、差动脉冲调宽电路 Uf为参考电压 R1=R2=R;; 0