第3章 传统传感元件及检测技术1-电容式.ppt

第3章传统传感元件及检测技术;传统式传感器 电阻应变式 电容式 磁电感应式 磁敏式 压电式;3.4.1 基本工作原理及特性 3.4.2 电容式传感器测量电路 3.4.3 电容式传感器的应用;1. 电容式传感器的工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为;电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型三种。;（1）变极距型电容式传感器; ;中间一块极板为动极板，两边为定极板。当动极板移动Δl 距离，l1=l0 - Δl ， l2=l0+ Δl 。对应的电容量C1、C2的变化通过差动电桥叠加使输出和灵敏度均提高一倍，非线性得到改善，且工作稳定性好。;条件：测量范围△l?l0;变极板间距离电容式传感器的优点是灵敏度高，可以进行非接触式测量，并且对被测量影响较小，所以适宜于对微位移的测量。它的缺点是具有非线性特性，所以测量范围受到一定限制，另外传感器的寄生电容效应对测量精度也有一定的影响。;线位移型电容式传感器 平面线位移 圆柱线位移 平面线位移型传感器如图，电容量为：;由;2)电容式圆柱形传感器(面积变化型);（3）变介质型电容传感器;假设两极板间距离为l ，则 l1=l－l2 ，电容量为：;3.4.2 电容式传感器测量电路 ; 由等效电路可知，它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。传感元件的有效电容Ce可由下式求得(为了计算方便，略去Rs和Rp)：;;1）调频测量电路 图中调频振荡器的振荡频率为;当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0，其表示式为;当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化，此时频率为;2) 运算放大器式测量电路 运算放大器的放大倍数很大，输入阻抗Zi很高，输出电阻小，所以运算放大器作为电容式传感器的测量电路是比较理想的。;如果传感器采用平板电容，则Cx= A /l，代入上式，则;3) 二极管双T形交流电桥测量电路 e是幅值为U的对称方波高频电源，VD1、VD2为参数和特性完全相同的两只二极管，R1=R2=R为参数和特性完全相同的固定电阻，C1、C2为传感器的两个差动电容。; 二极管双T形交流电桥;若传感器输入信号不为0，则C1≠C2，I1≠I2，此时在一个周期内通过RL上的平均电流不为零，因此产生输出电压，输出电压在一个周期内的平均值为;输出Uo不仅与电源电压幅值U和频率f有关，而且与T形网络中的C1和C2的差值有关。当电源电压确定后，输出电压Uo是电容C1和C2的函数。;电路的输出阻抗与电容C1、C2无关，而仅与R1、R2及RL有关，约为1k?~100k?。输出信号的上升沿时间取决于负载电阻。对于1k?的负载电阻上升时间为20?s左右，故可用来测量高速的机械运动。; 随着电容式传感器应用问题的完善解决，它的应用优点十分明显： (1)分辨力极高,能测量0.01微米的绝对变化量和高达(ΔC/C)=100%---200%的相对变化量，因此尤其适合微信息检测； (2)动极质量小，可无接触测量；自身的功耗、发热和迟滞极小，可获得高的静态精度和好的动态特性； （3）结构简单,不含有机材料或磁性材料，对环境(除高湿外)的适应性较强； (4)过载能力强。;1. 电容式测厚传感器原理; 电容测厚传感器是用来对金属带材在轧制过程中厚度的检测，其工作原理是在被测带材的上下两侧各置放一块面积相等，与带材距离相等的极板，这样极板与带材就构成了两个电容器C1、C2。把两块极板用导线连接起来成为一个极，而带材就是电容的另一个极，其总电容为C1 + C2 ，如果带材的厚度发生变化，将引起电容量的变化。; 音频信号发生器产生的音频信号，接入变压器T的原边线圈，变压器副边的两个线圈作为测量电桥的两臂，电桥的另外两桥臂由标准电容C0和带材与极板形成的被测电容Cx(Cx=C1+C2)组成。电桥的输出电压经放大器放大后整流为直流，再经差动放大，即可用指示电表指示出带材厚度的变化。; C的变化经过电桥调节后，由耦合电容输出给运放进行放大，再经过整流滤波和差动放大后，一 方面由显示仪表读出板材厚度，一方面通过反馈回路将偏差信号送给压力调节器，使板材厚度控制在规定范围内。;2. 数字式大气数据计算机压力传感器;;k——由电容器极板的面积和介电常数决定的常数;压力变送器;各种电容式差压变送器外形 ;2）电容量式压力传感器（ 运算放大器式测量电路）;大气数据计算机A/D转换电路图;3. 电容式加速度传感器 当传感器壳体随被测对象沿垂直方向作