2.TSK Prober基本操作规范.doc

CORP. 蔚華科技股份有限公司 PAGE  DOC NO.TITLE：TSK PROBER基本操作說明REV RyonPAGE  PAGE 35 OF4 35  TOC \o 1-3 1.前言:  PAGEREF _Toc497266484 \h 2 2.電源開關與緊急停止開關:  PAGEREF _Toc497266485 \h 3 2-1開關位置  PAGEREF _Toc497266486 \h 3 2-2 使用時機:  PAGEREF _Toc497266487 \h 3 3.啟動PROBER:  PAGEREF _Toc497266488 \h 5 3-1啟動  PAGEREF _Toc497266489 \h 5 3-2 完成開機動作  PAGEREF _Toc497266490 \h 6 4.更換PROBE CARD:  PAGEREF _Toc497266491 \h 7 4-1 APC 裝置  PAGEREF _Toc497266492 \h 7 4-2一般的PROBER  PAGEREF _Toc497266493 \h 11 5.生產前設定:  PAGEREF _Toc497266494 \h 14 5-1 放入Wafer  PAGEREF _Toc497266495 \h 14 5-2 完成Wafer放置  PAGEREF _Toc497266496 \h 15 6.設定產品:  PAGEREF _Toc497266497 \h 16 6-1 設定DEVICE  PAGEREF _Toc497266498 \h 16 7.DEVICE屬性設定:  PAGEREF _Toc497266499 \h 18 7-1 設定測試溫度  PAGEREF _Toc497266500 \h 18 8.LOT屬性設定:  PAGEREF _Toc497266501 \h 20 8-1 設定LOT屬性  PAGEREF _Toc497266502 \h 20 8-2 逐一載入(SEQUENCE LOAD)  PAGEREF _Toc497266503 \h 21 8-3 設定起始載入位置(ASSIGN LOAD)  PAGEREF _Toc497266504 \h 22 8-3 依設定載入(SAMPLE LOAD)  PAGEREF _Toc497266505 \h 23 9.設定測試控制參數:  PAGEREF _Toc497266506 \h 24 9-1 設定是否在測試前暫停  PAGEREF _Toc497266507 \h 24 9-2 設定是否讀取Wafer ID.  PAGEREF _Toc497266508 \h 25 10.確認針點位置(NEEDLE ALIGNMENT):  PAGEREF _Toc497266509 \h 26 11.針痕位置的校正:  PAGEREF _Toc497266510 \h 27 11-1 選定試打針痕的位置  PAGEREF _Toc497266511 \h 27 11-2 調整針壓與針痕位置  PAGEREF _Toc497266512 \h 29 11-3 開始進行測試  PAGEREF _Toc497266513 \h 32 11-4 備註:  PAGEREF _Toc497266514 \h 32 12工程測試中，改變測試設定  PAGEREF _Toc497266515 \h 33 12-1更改針壓(OVERDRIVE)設定  PAGEREF _Toc497266516 \h 33 12-2 重測  PAGEREF _Toc497266517 \h 34 12-3 操作TEST HEAD  PAGEREF _Toc497266518 \h 35 TSK PROBER 基本操作說明 1.前言: TSK PROBER具有親和的使用者操作界面，以及穩定可靠的生產效能。 為了使TSK PROBER達到最佳的生產狀態，正確的操作程序是不可或缺的。 因此在生產過程中請遵照基本操作說明的指示，依正確的操作程序生產。 避免因為錯誤的人為操作，造成損失。 2.電源開關與緊急停止開關: 2-1開關位置 TSK PROBER的電源主開關位於機台的後方，相關開關的位置如下圖 EMERGENCY 緊急停止開關 POWER ON 電源開啟 POWER OFF 電