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初级工技术培训技术一部上海超日太阳能科技股份有限公司光伏产业链电池片工作原理示意图电池片制造基本工艺流程电池片工艺流程示意图绒面制作原始硅片（P层）损伤层损伤层去除磷扩散n层去边减反射膜沉积背面电极印刷正面电极印刷烧结常见清洗不良品现象（目的：去除硅片表面的杂质残留）清洗去损伤层原始硅片化学腐蚀去损伤层太阳电池表面反射率是影响太阳电池光电转换效率的重要因素之一。表面织构化可以有效降低太阳电池的表面反射率。入射光在电池表面多次反射延长了光程，增加了对红外光子的吸收，而且有较多的光子在p-n结附近产生光生载流子，从而增加了光生载流子的收集几率；另外同样尺寸的基片，绒面电池的p-n结面积较大，可以提高Isc，效率也有相应的提高。但太阳电池的表面织构化也会提高光生载流子的表面复合速率。原理单晶：利用碱溶液对单晶硅各个晶面腐蚀速率的不同,在硅片表面形成类似“金字塔”状的绒面。Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑多晶：利用硝酸的强氧化性和氢氟酸的络合性，对硅进行氧化和络合剥离，导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀，从而形成类似“凹陷坑”状的绒面。Si+HNO3→SiO2+NOx↑+H2OSiO2+6HF→H2SiF6+2H2O制绒绒面结构单晶绒面单晶绒面单晶多晶绒面10制绒后SEM照片×2500×5000×10000×10000制绒前硅片表面的反射率一般为30%左右制绒后，单晶的反射率可降至14%，多晶可降至18%。绒面反射率氢氧化钠NaOH异丙醇IPA制绒添加剂氢氟酸HF盐酸HCl单晶制绒所需化学品种类NaOH浓度异丙醇浓度制绒槽内硅酸钠的累积量制绒腐蚀的温度制绒腐蚀时间的长短槽体密封程度、异丙醇的挥发程度影响绒面质量的关键因素氢氧化钠浓度对绒面的影响：结果相同的时间反应，氢氧化钠的浓度越高，金字塔的体积越大当制绒液中氢氧化钠浓度超过了一定的界限，溶液的腐蚀力度过强，绒面越来越差，直至出现类似“抛光”的效果氢氧化钠量的递增是的温度也不断的递增，导致氢氧化钠对硅片的腐蚀过快，绒面控制不稳化学品对制绒的影响功能成分作用原理1表面活性剂消除手指印改变溶液的表面张力，包裹硅片表面有机物并溶解2绒面催化剂提高金字塔密度减少金字塔尺寸有机基团作为金字塔起绒点，大大提高金字塔形核密度，形成大量小尺寸金字塔3绒面缓蚀剂反应“自停止”减少腐蚀克重增大各项异性因子，非（111）面反应速率快，（111）面反应速率特别慢初始反应速度快，后期反应速度很慢15制绒添加剂对制绒的影响降低硅片表面张力，协助氢气泡的释放，及时将杂质脱离硅片表面，使金字塔更加均匀一致气泡的直径、密度和腐蚀反应的速率限定了硅片表面织构的几何特征。气泡的大小以及在硅片表面停留的时间，与溶液的粘度、表面张力有关系。需要异丙醇来调节溶液的粘滞特性。可以减弱氢氧化钠对硅片的腐蚀力度异丙醇对制绒的影响IPA量对绒面的影响5ml15ml25ml40ml硅酸钠在溶液中呈胶体状态，大大的增加了溶液的粘稠度。对腐蚀液中OH离子从腐蚀液向反应界的输运过程具有缓冲作用，使得大批量腐蚀加工单晶硅绒面时，溶液中NaOH含量具有较宽的工艺容差范围，提高了产品工艺加工质量的稳定性和溶液的可重复性。随着硅酸钠含量的增加，溶液粘度会增加，结果在硅片与花篮接触部位会产生“花篮印”。硅酸钠来源大多是反应的生成物，要调整它的浓度只能通过排放溶液。若要调整溶液的粘稠度，则采用加入IPA来调节。硅酸钠对制绒的影响硅酸钠多合理的控制好时间、温度、浓度。做好减薄量记录，根据减薄量及时调节制绒液的浓度同时到电脑显微镜下观察绒面大小，根据显微镜照片大小，熟练调节制绒液的浓度配比。对生产不同厂家的硅片做出笔记总结经验。控制绒面的质量方法HF：去除硅片表面的硅酸钠及其氧化物。主要反应方程式：SiO2+6HF→H2[SiF6]+2H2OHCl去除硅片表面的金属离子酸洗的目的及原理手指印造成的硅片表面沾污，在制绒过程中会出现如下异常图：常见问题原始硅片未清洗干净，表面有有机油污污染或清洗液残留等造成的硅片表面沾污，在制绒过程中，会出现如下异常图：由于原始硅片手指印和油污的存在，在制绒过程中无法去除，在PECVD工序会引起色差色斑。现象原因解决方法备注白斑制绒没有制满延长制绒时间、增加NaOH小雨点氢气泡没有及时脱离硅片表面增加IPA水痕硅酸钠含量过大重新配槽、改善喷淋手指印脂肪酸玷污规范生产操作手法常见问题及解决方法掌握清洗间工艺流程、日常生产操作、设备工具夹具的使用。了解清洗间使用的各种原辅料的特性（包括：硅片、HF、HCl、制绒添加剂），能做到正确辨别、正确使用。懂得各种溶液的配比及生产过程中的正确防护。懂得绒面的制作及绒面质量优劣的判别按照工艺的要求定期更换酸洗用的化学溶液，并做好换液记录。制绒岗位职责了解清洗制绒机各种工艺参