真空技术基础及其应用现状.pptx

真空技术基础及其应用现状;一、真空概述;1643年。伽利略（Galileo Galilei）的弟子托里拆利（Evangelista Torricelli）在意大利佛罗伦萨市（Florence）做了一个著名的实验，将一端密封的长管注满水银并倒置在盛有Hg（汞）的槽里时，发现了密封的玻璃管中760mm水银柱顶端产生的真空。从而证实了大气的压力可支撑760mm汞柱的重量。;1654年，德国工程师盖利克（Otto von Guericke）利用其发明的活塞抽气泵在马德堡市（Magdeburg）公开表演马德堡半球实验，即两边各用八匹马，也不能将合拢在一起的已抽真空的两个半球拉开。从此，人们对大气压力有了认识，物理学家们开始对低气压中的现象进行研究，工程师们发明了各种抽气机。;阴极射线（Goldstein，1876年） 碳丝灯泡（T.A.Edison，1879年） X射线（W.Rontgen,1895年） 真空二极管（A.Fleming，1902年） 真空三极管（L.Forest，1907年） 充气日光灯（I.Langmuir，1915年） X射线管（ W.D.Coolidge，1915年）;真空泛指低于地区大气压力的气体状态;3、描述真空度的单位：;4、真空区域的划分;二、真空系统;真空系统的组成;1、真空容器（vacuum chamber）;常用的真空容器主要有圆形和方形两种，圆形又分为立式和卧式两种结构 材质通常为304不锈钢，有特殊要求时，可以选用其他材料;2、真空获得设备;罗茨真空泵;罗茨泵机组;真空系统泵组组合;3、真空测量设备;按照测量原理的不同，可将真空计分为以下三种： （1）压缩真空计：先将气体压缩，让其压强升高，测出升高后的压强后，再设法计算出原来的压强。 （2）热传导真空计：利用一根热的导丝，测量气体导热造成的某些效应，如温度的变化等。 （3）电离式真空计：利用电子碰撞气体分子，使其电离，然后测量所得的离子流。;各种真空计适用压力范围;几种常用真空计简介;热阴极电离真空计 原理：使待测空间的气体电离，测量所产生的离子浓度，离子浓度正比于气体浓度，故在一定压强范围内常能得到线性的关系。 量程：1~1×10-5Pa 优点： （1）测出的为总压强 （2）反应迅速，可连续读数，还可远距离控制； （3）对机械振动不敏感 缺点： （1）灵敏度与气体种类有关 （2）压强高于10-1Pa时，灯丝易于烧毁。;4、真空控制系统;5、真空检漏技术;真空系统的漏气分为实漏和虚漏 虚漏是指真空容器内部有漏源，如材料内部有孔洞，或结构上有死空间，其中的气体不能有效的被真空泵抽走，而是通过缝隙缓慢地，源源不断地漏向真空系统，就像有漏孔存在一样，但又无法从外部检测出来。它可以通过选用优质材料或改变设计方案解决 实漏指与外界连接的漏孔造成的漏气。它可以通过适当的检漏方法和检漏仪器检测出来。;真空泄漏测量指标：漏率，单位： Pa?m3/s 真空泄漏常用测量方法：氦质谱检漏仪检漏;6、真空容器设计参数示例;容器直径：DN2500mm； 筒体壁厚：16mm 极限真空：7×10-5Pa（液氮低温） 漏率： 优于2×10-5Pa·L/s 泵组：罗茨泵机组、分子泵、低温泵;容器直径：DN1600mm； 筒体壁厚：12mm 极限真空：2×10-4Pa 漏率： 优于2×10-5Pa·L/s 泵组：双旋片泵、双分子泵;三、真空技术的应用;与真空技术有关的各种行业及其应用实例;四、真空系统示例;真空镀膜机;真空炉;热真空环境模拟设备;大型强子对撞机（LHC）;其他应用;五、真空列车与真空;1、真空管道;2、真空度获得;3、真空度维持;结束语;谢谢大家！