真空教育资料1.ppt

１．真空基础 １－１ 何谓真空 １－２ 单位 ２．真空用语 ２－１ 共通用語 ２－２ 泵相关用语 ２－３ 真空計相关用语 ２－４ 部品相关用语 ２－５ 技术相关用语 ３．真空泵 ３－１泵的体系 ３－２干泵 ３－３ 机械升压泵 ３－４ 涡轮分子泵 ３－５ 冷泵 ４．真空計 ４－１ 真空計的种类 ４－２ 热电偶气压计 ４－３ 热压力计（皮拉尼压力计） ４－４ 隔膜真空計 ４－５ 电离真空計 ４－６ 真空計的用途分类 ５．传导性与排气时间 ５－１ 传导性 ５－２传导性的合成 ５－３ 排气时间的计算 ５－４ 真空容器的平衡圧力 ６．泄露与气体释出 ６－１ 泄露 ６－２ 气体释出 ６－３ 排气曲线 ７．真空的判断 ７－１ 泄露试验 ７－２ 氦气检漏仪 ７－３ 四重极质量分析计 ７－４ 加高法 １．真空基础 １－１． 何谓真空 真空是指低于外界压力的容器内的压力状态。 （低于1大气压的压力状态） 大気圧～１０－３Ｔｏｒｒ（１．３×１０－１Ｐａ）→粘性流 ＜１０－３Ｔｏｒｒ（１．３×１０－１Ｐａ）→分子流 以下是真空利用范围及使用实例。 ２．真空用語 ２－１．共通用語 １）低真空 ：１０２Ｐａ以上的真空 ２）中真空 ：１０２～１０－１Ｐａ的真空 ３）高真空 ：１０－１～１０－５Ｐａ的真空 ４）超高真空：１０－５Ｐａ以下的真空 ２－２．泵相关用语 １）主泵 ：用于真空系排气、保持压力的真空泵。 ２）辅助泵 ：用于维持其他泵背压的真空泵 ３）排気量 ：通过泵吸气口的气体流量（Ｐａ ｍ３／ｓｅｃ） ４）排気速度 ：通过泵吸气口的气体的体积流量（ｍ３／ｓｅｃ） ５）吹扫氮气 ：为防止内部腐蚀、生成物的生成而通入泵内的氮气。 ２－３．真空计相关用语 １）測定子 ：装在真空室内的真空计构成部分。（真空表） ２）真空表口：将測定子装在真空容器上的安装口。 ２－４．相关部品 １）Ｏ型圈（垫片）：断面为圆形、整体亦为圆形的垫片、一般材料为氟化橡胶、 氯丁橡胶，使用环境（温度、气体条件等）所用材质也不 同，使用时应加以注意 ２）金属垫片 ：高温、超高真空容器用垫片。。 主要材质多为铜（Ｃｕ）。垫片一经使用即有伤痕，不得 再用。 ３）真空润滑油 ：蒸汽压低的润滑油。需注意因使用环境不同材质也有所 区别多为硅、氟化系。 ４）波纹管 ：薄壁金属管，用在将外部的伸缩动作传导到真空容器内 的地方，抗撞击性弱，使用时应小心。用成形、焊接 等方法制造。 ５）法兰： :刀刃的前端与金属垫片咬合，起真空密封作用的法兰。 ６）快速耦合接头 ：易于拆卸的弓型接头。（ＮＷ２５、４０等） 注意不要因螺丝旋得过紧引起破损。 ２－５．与技术相关用语 １）到达压力 ：真空装置、泵经过足够长时间的排气，在基本可以忽略压 力减少时的压力 ２）背压 ：将气体排到低于大气压的空间内时真空泵排气口处的压力 ３）饱和蒸汽压 ：在某一温度下达到凝缩及热力学平衡的蒸汽所显示出的 压力。 ４）平均自由工程 ：在气体中自由运动的粒子（分子、原子、电子等）在相 互碰撞过程中飞行的平均距离。 ５）粘性流 ：气体分子的平均自由工程相对于配管断面的最大尺寸而言 足够小时，配管内的气体流。 ６）分子流 ：气体分子的平均自由工程相对于配管断面的最大尺寸而 言足够大时，配管内的气体流。 ７）传导性 ：气体在管或出口处流动时，表示气体流通难易程度的 数值。（ｍ３／ｓｅｃ） 如分子与冷却至极低温度的平面（冷却板）相撞击，其运动能量将被消除并吸着在平面上（凝缩）。冷泵就是利用此原理设计而成的积存式泵。 １）冷泵的构造 ４－６．真空计的用途分类 欲进行真空测定，须根据测定范围、精度来选择真空计。 ５．传导性与排气时间 ５－１．传导性 设定传导性为 Ｃ（ｍ３／ｓｅｃ）、出口或管道两端的压力为Ｐ１、Ｐ０ （Ｐａ）此间流过气体的流量为Ｑ，则 Ｑ＝Ｃ（Ｐ１－Ｐ０）（Ｐａ.ｍ３／ｓｅｃ） 另外如上图的排气系统,腔体吸气口的排气速度Ｓ１可用下述公式求得: ５－２．传导性的合成 传导性依下列方法合成计算。 粘性流与分子流的传导性是不同的。 →（例）平均圧力 Ｐ、２０℃的空气通过长 ｌ（ｍ）、直径 ｄ（ｍ）的圆形配管时 各种形状配管的传导性计算方法请参照「真空手册」 ５－３．排气时间的计算 容积为Ｖ（ｍ３）、排気速度 为Ｓ（ｍ３／ｓｅｃ），则排气时容器圧力的变化用下列算式计算。 ｄＰ －Ｖ－＝ＰＳ－Ｑ ｄｔ １）低真空域（＞１０２Ｐａ）→在此领域可忽略气体释放速度Ｑ。 Ｖ Ｐ１ Δｔ＝２．３－ｌｏｇ１０ － Δｔ：圧力从Ｐ１到Ｐ２所需时间（ｓｅｃ） Ｓ Ｐ2 ２）中真空域（１０２～１０－１Ｐａ）及高真空域（１０－１～１０－５Ｐａ） →在此领域气体释放速