第12章 表面微细加工技术-用.ppt

第12章 表面微细加工技术;;;; 1987年，UC Berkeley 研制的硅静电马达( 转子直径120微米，电容间隙2 微米) 问世，引起轰动。专家预言，它的意义可与当年晶体管的发明相比。;;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;12.1光刻加工;12.1.1光刻;(a)涂胶(b)曝光(c)显影、烘片(d)蚀刻(e)剥膜 ;;;1、光学光刻法;1 掩模的制造 2 光刻胶的涂覆 3 预烘 4 曝光;底膜处理;光刻胶的涂覆;预烘;曝光;曝光光源选择;显影与坚膜;刻蚀;湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。 特点： 1：具有优良的选择性。 2：各向同性腐蚀;;去胶;12.2其他微细加工方法;;;;;;LIGA工艺;准LIGA技术（ LIGA—like工艺）;12.2.2机械微细加工;*;*;*;12.2.3放电微细加工;12.2.4激光微细加工;图3-48 激光加工微型工件实例 (a) 激光在钛合金管上切的槽；(b) 激光在头发上刻的字 ;10.2.5电子束微细加工;;;12.2.6离子束微细??工;;;12.2.7超声波微细加工;12.2 微细加工技术典型应用实例;12.2.2 微型机电系统;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*