化学传感器调查地研究02.pptVIP

第二章;§2-1 什么是气体传感器;气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。探测头通过气体传感器对气体样品进行调理，通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或制冷处理仪表显示部分。? 将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号后，根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。 ;气敏传感器的主要参数及特性;气敏传感器的分类;§2-2 半导体气体传感器;;半导体式气 敏传感器 ;2.1 电阻式半导体式气体传感器;2.1.1 常见的电阻式半导体气敏传感器;2.1.2 烧结型传感器;直热式气敏器件 ;旁热式气敏器件是把高阻加热丝放置在陶瓷绝缘管内，在管外涂上梳状金电极，再在金电极外涂上气敏半导体材料，就构成了器件 克服了直热式结构的缺点，器件的稳定性得到提高;2.1.3 薄膜型传感器;2.1.4 厚膜型传感器;;非电阻型气敏器件也是半导体气敏传感器之一。它是利用MOS二极管的电容—电压特性的变化以及MOS场效应晶体管(MOSFET)的阈值电压的变化等物性而制成的气敏元件。由于类器件的制造工艺成熟，便于器件集成化，因而其性能稳定且价格便宜。 利用特定材料还可以使器件对某些气体特别敏感。 ;MOS二极管气敏元件是在P型半导体硅片上，利用热氧化工艺生成一层厚度为50~100 nm的二氧化硅(SiO2)层，然后在其上面蒸发一层钯(Pd)的金属薄膜，作为栅电