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薄膜物理第2章离子镀
第二章 薄膜制备的物理方法（ Ⅲ Ⅳ ） 离子镀技术外延生长;*;*;*;*;*;*;*;*;第二章 薄膜制备的物理方法（ Ⅳ ）
2.4 外延生长;外延生长的定义;基本原理：在超高真空系统中（真空度优于10-11Pa，分子平均自由程可达1m）将组成化合物的元素材料分别装入喷射炉内，对面喷射炉相隔一定距离放置衬底（加热到600-700℃）。从喷射炉喷出的热分子或热原子束射到衬底表面并延表面移动，与表面发生反应生长成单晶薄膜。;MBE设备结构;2.4.3 液相外延（Liquid phase epitaxy, LPE）
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