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ESD 教育訓練教材 Mright Chang ; 訓練課程大綱 壹.靜電放電(ESD)介紹 貳.ESD防制之目的 參.ESD基本知識介紹 肆.ESD基本防護方法及傷害類別 伍.ESD防制之設備儀器介紹與使用 陸.ESD防制基本作業規範;;壹.靜電放電(ESD)介紹 靜電 原因:摩擦、剝離、感應... 機制:物質因失去或得到電子而帶電 靜電放電 原因:電位不同物體間的電荷移轉 不一定伴隨有電弧或火花發生 ;摩擦生電與靜電放電;;;剝離生電;;;;靜電放電模式 ; 人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到IC時，人體上的靜電便經由IC的腳(pin)而進入IC內，再經由IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns, nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，電流會把IC內的元件給燒毀。 ; 人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到IC時，人體上的靜電便經由IC的腳(pin)而進入IC內，再經由IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns, nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，電流會把IC內的元件給燒毀。 ;; 機器放電模式(MM)的ESD是指機器(例如機器手臂)本身累積了靜電，當此機器去碰觸到IC時，該靜電便經由IC的pin放電。因為大多數機器都是用金屬製造的，其機器放電的等效電阻為0 ?；由於機器放電模式的等效電阻為零，故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生，因此對元件的破壞力更大。;; 此放電模式(CDM)是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累積了靜電，但在靜電累積的過程中IC並未受傷。此帶有靜電的IC在處理過程中，當其pin去碰觸到接地面時，IC內部的靜電便會經由pin自IC內部流出來，而造成了放電的現象。此種模式的放電時間更短，僅約幾毫微秒之內，而且此放電現象更難以真實的被模擬。 ;ESD傷害類別;ESD三種模式比較 ;貳.ESD防制之目的;參.ESD基本知識介紹 影響靜電荷產生量的因素 相對溼度 物質材料(摩擦電序列) 接觸的面積 摩擦頻率;典型的ESD電壓認識靜電放電;材料的影響認識靜電放電;導電材料認識靜電放電防制;靜電消散材料與靜電屏蔽材料認識靜電放電防制;絕緣材料認識靜電放電防制; 人體對ESD的感覺; 日常生活中的靜電量;肆.ESD基本防護; 接地系統 ;ESD Ground (Soft Ground)靜電放電接地 能夠使靜電產生源 (人或物)藉由此路徑到接地的端點、 排線、金屬線或其他接地系統。(EIA-625) Ground(Hard Ground)實接地 藉由電子線路或特殊設備和大地(Earth)連接的導電接點 ，和大地間具零電位差。 接地線用導體 接地用導體需要有足夠的機械強度、耐腐蝕且不會發生 斷線之電線或金屬導體。 ;ESD傷害類別;伍.ESD防制之設備儀器介紹與使用 表面阻抗測試器 靜電壓測試器 離子風扇 靜電環測試器 靜電環 ;表面阻抗測試器;靜電壓測試器;靜電環測試器;靜電環測試器;靜電環 型式：粘帶式、金屬、紡織品、鬆緊帶式 安全性：必須要有限流電阻(通常為1M ?,1/4W) 來保護人體安全. ;陸.ESD防制基本作業規範 ; ESD管制標誌及標籤;說明：表一（部份）;說明：表一（部份）;靜電手環/腳環 Wrist strap/heel strap 1M ?±20% through strap 靜電消散桌墊/地板 靜電消散型工作表面對地電阻值 between 105 and 109 ?/sq 導電型???作表面對地電阻值 between 103 and 105 ?/sq 導電地板其接地之電阻值 between 2.5×104 and 5×106 ?/sq ; 靜電消散紡織物品 靜電防護衣、帽 -- surface resistivity 105 ~ 1011 ?/sq 靜電鞋