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ESD 教育訓練教材 ; 訓練課程大綱 壹.靜電放電(ESD)介紹 貳.ESD防制之目的 參.ESD基本知識介紹 肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用 伍.ESD防制基本作業規範;;壹.靜電放電(ESD)介紹 靜電 原因:摩擦、剝離、感應... 機制:物質因失去或得到電子而帶電 靜電放電 原因:電位不同物體間的電荷移轉 不一定伴隨有電弧或火花發生 ;摩擦生電與靜電放電;;;剝離生電;感應生電--金屬葉片驗電器 Metal-leaf Electroscope;靜電放電模式 ; 人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到IC時，人體上的靜電便經由IC的腳(pin)而進入IC內，再經由IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns, nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，電流會把IC內的元件給燒毀。 ;; 機器放電模式(MM)的ESD是指機器(例如機器手臂)本身累積了靜電，當此機器去碰觸到IC時，該靜電便經由IC的pin放電。因為大多數機器都是用金屬製造的，其機器放電的等效電阻為0 ?；由於機器放電模式的等效電阻為零，故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生，因此對元件的破壞力更大。;; 此放電模式(CDM)是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累積了靜電，但在靜電累積的過程中IC並未受傷。此帶有靜電的IC在處理過程中，當其pin去碰觸到接地面時，IC內部的靜電便會經由pin自IC內部流出來，而造成了放電的現象。此種模式的放電時間更短，僅約幾毫微秒之內，而且此放電現象更難以真實的被模擬。 ;ESD三種模式比較 ;貳.ESD防制之目的;參.ESD基本知識介紹 影響靜電荷產生量的因素 相對溼度 物質材料(摩擦電序列) 接觸的面積 摩擦頻率; 靜電防治材料特性 ; 接地系統 ;ESD Ground (Soft Ground)靜電放電接地 能夠使靜電產生源 (人或物)藉由此路徑到接地的端點、排線、金屬線或其他接地系統。(EIA-625) Ground(Hard Ground)實接地 藉由電子線路或特殊設備和大地(Earth)連接的導電接點，和大地間具零電位差。 接地線用導體 接地用導體需要有足夠的機械強度、耐腐蝕且不會發生 斷線之電線或金屬導體。 ;固定設備的接地用導體須用1.25 mm2以上的600V級PVC 絕緣電線，絕緣被覆採用綠色。(經濟部工業局) 移動設備的接地用導體須用1.25 mm2以上的橡膠、人造橡膠或塑膠絕緣柔性(可繞)電線。 移動及震動頻繁設備的接地用導線須用1.25 mm2以上絞線、網線。為容易發現斷線，最好是未加絕緣的電線。 使用鏈子做接地導體(搬運車)，應確定其不因腐蝕、生鏽影響導通情況，且不因其不連性而接觸不良。 ;基本法則的落實;肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用 表面阻抗測試器 靜電壓測試器 接地斷路警報系統 靜電環測試器 靜電環 ;表面阻抗測試器;靜電環測試器;靜電環測試器;靜電環 功能：主要為防止HBM對於ESDS元件的破壞 型式：粘帶式、金屬、紡織品、鬆緊帶式 安全性：必須要有限流電阻(通常為1M ?,1/4W) 來保護人體安全，接地線與靜電環分離的拉力為1-5 lb. ;伍.ESD防制基本作業規範 ; ESD管制標誌及標籤;所有放置ESD敏感元件之容器應於顯而易見的位置貼上ESD靜電防護標籤。 靜電安全工作站之作業指導書應附有ESD靜電防護標籤。;靜電安全工作區域中無法避免之絕緣材料(OI架、資料夾…)時，應使用靜電消散液覆蓋其表面，並定期檢測是否失效。 ;於靜電安全工作區外一公尺範圍內，所有物體之靜電壓須小於100V。 工作桌墊須確實接地並將每月 之檢測結果記錄於桌墊後。;導電地板區域內，台車須連結接地鏈(一般區域以接地線接地)，且台車各層桌墊須予以連結導通；裝載未完成品之台車須予以適當之防靜電遮蔽。;所有人員進入靜電安全工作區作業，應佩戴靜電環並確實接地；每日定時檢測並記錄。 作業人員進入無塵室須穿著靜電鞋，且應每日檢測並記錄。 作業人員進入靜電安全工作區，應穿戴靜電帽或防塵帽。 靜電衣經清洗後須檢測並記錄。 永久性靜電防護容器應符合規範，並應協請廠商提供證明。; 靜電量測建議允收規範;靜電遮蔽袋 Static Shielding Bag 靜電消散型