薄膜物理期末考试孙喜莲版资料.docVIP

薄膜物理与技术（孙喜莲版） 一：填空题 1. 为了研究真空和实际使用方便，根据各压强范围内不同的物理特点，把真空划分为　　　　　　，　　　　　　，　　　　　　，　　　　　　四个区域。 2. 在　　　　　　真空条件下，分子的平均自由程可以与容器尺寸相比拟。 3. 列举三种气体传输泵　　　　　　，　　　　　　和　　　　　　。 4. 气体捕获泵是通过各种　　　材料特有的　　　　　　将被抽气体吸除，以达到所需真空。 5. 真空计种类很多，通常按测量原理可分为　　　　　　和　　　　　　。 6. 气体的吸附现象可分为　　　　　　 和　　　　　　。　 7. 化学气相反应沉积的反应器的设计类型可分为　　　　　　，　　　　　　，　　　　　　和　　　　　　。　　　　　　 8 电镀方法只适用于在　　　　　　上沉积金属和合金，薄膜材料在电解液中是以　　　　　? 　??的形式存在。制备有序单分子膜的方法是　　　　　　。 9 不加任何电场，直接通过化学反应而实现薄膜沉积的方法叫??　　　　　 。 10 物理气相沉积过程的三个阶段：　　　　　　，　　　　　　和　　　　　　。 11.在相同条件下，小平面蒸发源的中心膜厚为点蒸发源中心膜厚的　　　　 倍。 12. 在反应蒸发中，蒸汽原子与活性气体之间的反应主要发生在　　　　　　 。 13. 溅射过程中所选择的工作区域是