Ch04_4.4-4.5电感式谐振式力传感器讲课.ppt

传感器原理及应用Fundamentals of Sensors Application;*;具有2块以上的极板;;先看一个实验：;电感传感器的基本工作原理演示;电感传感器的基本工作原理演示;;A、变面积式电感传感器;;一般由线圈、铁心、衔铁组成，衔铁和被测物同步移动。 在衔铁和铁心之间存在间隙δ ，其大小随外力变化而变化；;由磁路基本知识知，线圈自感为： ;若给线圈通以交流电，则流过线圈的电流与气隙间的关系为：;应用1：变隙式电感压力传感器;;应用2：变隙式差动电感压力传感器 ;应用3：差动变压器式传感器;应用3：差动变压器式传感器;应用3：差动变压器式传感器;应用3：差动变压器式传感器;应用3：差动变压器式传感器;*;概述;;;概述;按谐振子的结构，常见的谐振式传感器可分为振弦式、振梁式、振膜式和振筒式，对应的振子形状分别为张丝状、梁状、膜片状和筒状。;设振子等效刚度为k，等效振动质量为me??则振子谐振频率f可近似表示为：;;一根两端固定，长度为l，线密度(单位长度质量)为r的弦，受到张力T作用。其等效刚度发生变化，谐振频率f为:;因为ΔT/T 1，所以可将上式中括弧里的项展开为幂级数，则上式为 ;为了得到良好的线性关系，常常采用差动结构。通过差频电路测得两弦的频率差，则不仅能提高灵敏度，还可减小非线性;二、振膜式谐振传感器 ;膜片受到压力p作用时，谐振频率f与膜片中心静