TFT制程简介答题.ppt

TFT process;PreClean;目前 TFT 1100至5880流程;MTSP : Metal Sputter (金属层溅镀);何谓 TFT;TFT;TFT结构及制作流程;ALNd/AL/Mo;;TFT 制程简介(第一层);1375;1850;1875;TFT 制程简介(第二层);2250;2251;2375;2850;2875;TFT 制程简介(第三层);3250;3375;3850;3875;TFT 制程简介(第四层);4250;4375;4850;4875;TFT 制程简介(第五层);5250;5375;5850;5875 5852;