第9章电子探针精编.pptVIP

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2016-07-27 发布于湖北
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第9章电子探针精编.ppt

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第十一章 X射线光谱分析 ;任何能谱或波谱仪并不能独立的工作，能谱仪或波谱仪通常作为现代扫描电镜和透射电镜的常规附件，借助电子显微镜电子枪的电子束工作。但也有专门利用能谱仪或波谱仪进行成分分析的仪器，它使用微小的电子束轰击样品，称这种仪器为电子探针X射线显微分析仪（EPMA）。类似地有离子探针，用离子束轰击样品表面，使之产生X射线，得到元素组成的信息。 ;;2．能谱仪;;;2．能谱仪;电子探针激发出各个元素的特征x射线。波谱仪利用晶体衍射把不同波长的X射线分开，不同波长的X射线将在各自满足布拉格方程的2θ方向上被检测器接收。 X射线探测器每接受一个X光子输出一个电脉冲信号，脉冲信号输入计数仪，提供在仪表上显示计数率读数。;3．波谱仪;4． WDS和EDS成分分析模式及应用;4． WDS和EDS成分分析模式及应用;;;;化妆粉底粉末的元素分布图 ;5．波??仪与能谱仪的特点;5．波谱仪与能谱仪的特点;6．X射线光谱分析及应用;利用背散射电子的原子序数衬度可以区别平均原子序数不同的区域，但不能对具体的元素及其含量进行分析。利用X射线光谱仪或能谱仪可以对微区成分进行定量分析，在钢铁等复相材料中相的鉴定和夹杂物分析中，在铸造合金的成分偏析的分析中得到了广泛的应用。在厚试样中，由于电子散射范围较大，微区成分的空间分辨率约1?m3，在薄试样中空间分辨率可达（10nm)3。;不同成分的两种材料紧密接触并加热后形成扩散对，扩散对试样中的成分梯度可以沿扩散方向每隔几个微米进行测定，和扩散方程的结果进行对照后还可进一步测定扩散系数。;3）金属／半导体界面反应产物