薄膜与薄膜技术应用探析.pptVIP

薄膜与薄膜技术的应用;我们的现代生活： 太阳能 光学膜 电视 电脑 液晶显示器，集成电路（IC） 手机 汽车 燃料电池，加速度传感器;薄膜技术 塑料薄膜（吹塑；厚度数十微米） 薄膜：薄（微米级或纳米级）；无缝隙覆盖 薄膜技术;薄膜的一般概念;薄膜是一种薄而软的透明薄片。;薄膜是一种薄而软的透明薄片。;王双军/陈先明：水立方ETFE充气膜结构技术 16开282页;薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片 表面形成的2维材料。;薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片 表面形成的2维材料 与 真 空;1930年出现了油扩散泵---机械泵抽气系统。 ;大约于1858年，英国和德国的研究者先后于实验室中发现了溅射现象。直到1955年，溅射镀膜才得以迅速发展。 ;电视机前面玻璃 照相机透镜 眼镜镜片 展示窗;选择吸收;冬天的暖房 ZnO/Ag/ZnO;太阳能发电 吸收面的温度可达800℃ ??镀的Cr2O3 反应溅射ZrOx 真空蒸镀SiO/Al/SiO;太阳能热水器;太阳能电池（光电变换膜）;波长小于380nm的紫外线容易造成汽车内的装饰材料、展示窗内的商品或展示品的劣化。;装饰膜 镀金;装饰膜 镀银;装饰膜 镀铬;超硬耐磨镀膜;镀TiN剪刀片;生物传感器的原理图;热释电型红外线传感器 某些物质（Pb1-xZrxTi1-x/4O3(PZT)或PbTiO3·Pb1-xLaxTi1-x/4O3(PLT)）表面随温度的变化产生电荷（热释电效应），当这种物质接收红外线时，红外线的能量转变为热能，这种热能可以电荷（输出电压）的方式检出。 可用于非接触式温度计：流动人群体温测量；检测人及动物的位置、动作及活动等；空间场地温度分布。;专业相机的像素可达2200万;薄膜技术 　　与薄膜制备、测试等相关的各种技术的总称。薄膜技术涉及的范围很广，它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术，以离子束刻蚀为代表的微细加工技术，成膜、刻蚀过程的监控技术，薄膜分析、评价与检测技术等等。;平板显示器 等离子电视（PDP） 液晶电视（LCD） 发光二极管电视（LED）;FED---Field Emission Display (or Field Effection Display) 。;薄膜技术要点 逐个原子的堆积 真空 气体放电 化学反应;几种薄膜技术简介 真空蒸镀 物理气相沉积（PVD） 离子镀 溅射镀膜 化学气相沉积（CVD）