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《固体表面物理化学》 第3讲 电子显微镜 ;物体与真空或气体所构成的界面称为表面。表面有着内部体相所不具备的特殊的物理化学性质，如催化、腐蚀、氧化、吸附、扩散等，常常首先发生在表面，甚至仅仅发生在表面。 相对体相而言，表面本身具有一定的组成和结构，有其特殊性和重要性，往往专门称它为“表面相”。 表面分析技术主要提供及方面的信息： 表面化学信息，包括元素种类、含量、元素分布化学价态以及化学成键等。可用技术： XPS、AES等 表面结构信息，从宏观的表面形貌、物相分布、等到微观的表面原子空间排列等。可用技术：SEM、LEED、SPM等;固体表面分析方法;表面分析技术：表面信号;材料表面的生命期;理想的表面分析技术;表面分析技术及其缩写;一些分析技术及其缩写;;内容： 3.1 绪论 - 电子显微镜的发展简史 3.2 电子光学基础 3.3 透射电镜的构造及原理 3.4 电子显微图像的形成及解释 3.5 电镜样品制备 ;3.1 绪论 - 电子显微镜的发展简史; 电子显微镜的研制成功，不仅推动了电子光学理论的发展，更带动了凝聚态物理、材料科学、生命科学等领域的大踏步前进。 　　1949年海登莱西（Heidenreich）第一个用透射电镜观察了用电解减薄的铝试样； 1956年剑桥大学卡文迪什实验室，利用电镜直接观察到位错层错等以前只能在理论上描述的物理现象;此后20多年晶体缺陷问题一直成为研究热点； 1970年日本学者首次用透射电镜直接观察到重金属金的原子近程有序排列，实现了人类直接观察原子的夙愿。 1986年，德国的鲁斯卡因为在电子显微镜方面的贡献，获得诺贝尔物理学奖。 ; 光学显微镜和电子显微镜的基本光学原理是相似的，它们之间的区别仅在于所使用的照明源和聚焦成像的方法不同，前者是可见光照明，用玻璃透镜聚焦成像，后者用电子束照明，用一定形状的静电场或磁场聚焦成像。;光学显微镜的局限性;2、最小分辨距离计算公式：;光在传播过程中遇到障碍物时，会偏离原来的直线传播方向，并在障碍物后的观察屏幕上呈光强的不均匀分布，这种现象称为光的衍射。 ;(a) 能够分辨;衍射结果;1　对于可见光的波长在390~770nm之间 2　N?A值一般小于1，最大只能达到1.5~1.6;JEM2010－透射电子显微镜; 高能辐射区 γ射线 能量最高，来源于核能级跃迁 χ射线 来自内层电子能级的跃迁 光学光谱区 紫外光 来自原子和分子外层电子能级的跃迁 可见光 红外光 来自分子振动和转动能级的跃迁 波谱区 微波 来自分子转动能级及电子自旋能级跃迁 无线电波 来自原子核自旋能级的跃迁; （1）1923年，德布罗意提出物质波的概念，即实物粒子也同样具有波动性。1929年诺贝尔物理学奖。 物质波的波长： h — Plank 常数： （2）美国科学家戴维森和英国科学家汤姆逊在实验中发现晶体对电子的衍射现象，为德布罗意的假设提供了可靠的实验证明。 （3）1932年，德国的鲁斯卡研制成电子显微镜，1986年因此获得诺贝尔物理学奖。 ;电子波的波长：; 电子是带负电的粒子，在静电场中会受到电场力的作用，使运动方向发生偏转，设计静电场的大小和形状可实现电子的聚焦和发散。由静电场制成的透镜称为静电透镜，在电子显微镜中，发射电子的电子枪就是利用静电透镜。  运动的电子在磁场中也会受磁场力的作用产生偏折，从而达到会聚和发散，由磁场制成的透镜称为磁透镜。用通电线圈产生的磁场来使电子波聚焦成像的装置叫电磁透镜。 ; 电磁透镜; 电磁透镜工作原理; 电磁透镜工作原理;（1）电磁透镜与光学透镜的几何光学成像原理都是相同的，所以对于透射电子显微成像的光路，我们可以象分析可见光一样来处理。 ; 电磁透镜成像： 1）所有从同一点出发的不同方向的电子，经透镜作用后，交于像象平面同一点，构成相应的象。 2）从不同物点出发的同方向同相位的电子，经透镜作用后，会聚于焦平面上一点，构成与试样相对应的散射花样。 ;有极靴; 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨 距离，对电镜分辨本领起作用的是球差、象散和色差。 1） 球 差 球差是由于电磁透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚