一种微加速度计设计与制造答题.ppt

目录 MEMS加速度计简介 MEMS压阻式加速度计设计原理 MEMS压阻式加速度计主要制造工艺 总结与体会 　　微加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。微加速度计是惯性传统器件的代表，其理论基础是牛顿第二定律。 MEMS加速度计简介 　　微加速度传感器的研究开始于70年初，是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。目前国外在微加速度传感器方面做的比较好的主要有：美国加州大学Berkley分校、德国Dresden大学、日本Toyohashi大学，美国AD公司（ADXL50）等 ] 1[。我国在这 方面的研究起步比较晚，距离产业化还有很多路要走。 目前微机电加速度传感器的工作原理主要有压阻式、电容式、压电式、力平衡式、微机械热对流式和微机械谐振式等。 微加速度计典型汽车用产品 　　1991年AD（Analog Devices）公司生产出的第一个商用多晶硅表面微机械电容式加速度计AXDL-50 1995年美国的AD公司生产制造了5g的低加速度值汽车用加速度计 　九十年代初ADI的气囊微加速度计 　国内的相关研究还存在很多问题，有很多共性难题没有解决，如： 　　 1 微结构的振动质量比较小，产生的输出信号非常微弱，基本上与机械噪声以及电噪声同数量级，因此弱电量检测以及噪声抑制成为提高加速度计性能的难题; 　　 2 微结构的迟滞和温漂是影响微加速度计精度的重要因素，如何改善结构减小迟滞效应，采取措施降低温漂的影响，是微加速度计实用化的重要课题; 　　 3 微加速度计存在明显的横向干扰，如何采用合理的结构实现结构在各方向解耦，并且通过合理布置检测单元，实现对横向干扰的抑制，也是研究的重要内容; 　　 4 除了基于半导体平面工艺的特殊结构电容式加速度计成本较低，利于批量生产外（例如AD 公司的微加速度计系列），其他原理的加速度计的制作成本相对较高，不利于批量生产; 　　针对上述问题，国内外研究人员已经进行了充分的研究。采用相关双采样接口电路能提高微弱信号的检测能力，降低电路噪声干扰。利用静电力平衡实现微加速度计的闭环控制，提高器件的动态性能，避免支撑梁发生大形变，降低传感器的迟滞和非线性影响，提高器件的可靠性。也有学者采用在线温度补偿技术，实现微加速度计温漂补偿。同时微机电系统技术的进步和工艺水平的提高，也给微加速度计的发展带来了新的机遇。通过了解国内外微加速度计的研究动态，分析其研究特点，总结出微加速度计以下几点发展趋势: 　　 1 高分辨率和大量程的微硅加速度计成为研究的重点。由于惯性质量块比较小，所以用来测量加速度和角速度的惯性力也相应比较小，系统的灵敏度相对较低，这样开发出高灵敏度的加速度计显得尤为重要。无论是民用还是军事用途，精度高、量程大的微加速度计将会大大拓宽其运用范围。 　　 2 温漂小、迟滞效应小成为新的性能目标，选择合适的材料，采用合理的结构，以及应用新的低成本温度补偿环节，能够大幅度提高微加速度计的精度。 3 多轴加速度计的开发成为新的方向。已经有文献报道开发出三轴微硅加速度计，但是其性能离实用还有一段距离，多轴加速度计的解耦是结构设计中的难点。 4 将微加速度计表头和信号处理电路集成在单片基体上，也能够减小信号传输损耗，降低电路噪声，抑制电路寄生电容的干扰。 5 选择合理的工艺手段，降低制作成本，为微加速度计批量化生产提供工艺路线;同时，标准化微机电系统工艺，为微加速度计投片生产提供一套利于操作、重复性好的工艺方法，也是微硅加速度计发展的重要方向。 微加速度计的特点 微加速度计具有尺寸小、重量轻、成本低、易集成、功耗小等特点 微加速度计的性能指标 １.量程 ２.灵敏度：降低刚度，增加质量 ３.动态范围：提高加速度计的固有频率，但这与提高灵敏度有矛盾 ４.反应时间：提高固有频率 质量块运动方程 无阻尼固有频率 阻尼比 品质因子 拉氏变换得传递函数的幅值和相位分别为 传递函数幅值 　　由图可见，为提高灵敏度，需要降低固有频率。降低固有频率有两个方案：降低刚度或增大质量。 在单位阶跃加速度作用下的响应为 其中 由图可见，对于开环速度传感器，为提高速度，传感器应该有较大的阻尼比（即品质因子）。 若采用反馈控制，相对位移基本被控在零位，可以采用小阻尼或大品质因子 根据有无反馈信号：１.微型开环加速度计 ２.微型闭环加速度计 根据结构形式：１.梳齿式微机电加速度计 ２.“跷跷板”摆式微加速度计 ３.“三明治”摆式微加速度计 ４.静电悬浮式微加速度计 按敏感信号方式：１.微型电容式加速度计 ２.微型压阻式加速度计 ３.微型压电式加速度计 ４.隧道电流式加速度计 ５.热对流式微加速度计 按敏感