透射电子显微分析1预案.pptVIP

第三章 透射电子显微分析(Transmission Electron Microscope);第二节 透射电子显微镜工作原理及构造;透射电子显微镜概述;透射电子显微镜的发展; 目前，风行于世界的大型电镜，分辨本领为2~3 埃，电压为100～500kV，放大倍数50~1200,000倍。由于材料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件，如扫描电镜、扫描透射电镜、X射线能谱仪等有关附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。它们能同时提供试样的有关附加信息。;电子与样品相互作用;TEM 可以做什么? 电子像及衍射花样 成像-质厚、衍射及相位衬度 衍射-选区电子衍射 (SAED)研究晶体结构 化学分析 X射线能谱（EDS，WDS）;高分辨透射电子显微镜 （实例）;;?;上图是近代大型电子显微镜的剖面示意图，从结构上看，和光学透镜非常类似。 TEM由照明系统、成??系统、显像和记录系统、真空系统和供电系统组成。核心部分是电子光学系统，重点介绍这部分包括：;;;透镜的放大倍数;;;;由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠得太近，过分重叠，图象就模糊不清。 ;;对于可见光的波长在390~770nm之间，光学显微镜其最小的分辨能力为0.2μm;景深：透镜物平面允许的轴向偏差。 不影响透镜成像分辨本领的前提下，物平面可沿透镜轴移动的距离。反映了试样在物平面上下沿轴运动的距离或试样超过物平面所允许的厚度。原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面重合，能在透镜像平面获得该层平面的理想图像。偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，它们在透镜像平面上将产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。如果失焦圆斑的尺寸不超过由衍射效应和球差引起的散焦斑，那么，对于透镜像的分辨本领并不产生什么影响。;焦深：透镜像平面允许的轴向偏差。 不影响透镜成像分辨本领的前提下，像平面可沿透镜轴移动的距离。反映了观察屏或照相底版可在像平面上下沿轴运动的距离。当透镜焦距、物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动时也会引起失焦，如果失焦斑的尺寸不超过由衍射效应和球差引起的散焦斑，对分辨本领无影响。 ;虽然光学镜头可以通过组合设计对像散能很好消除，;;这种线圈产生的磁场有几个特点：1.轴对称磁场，2.非均匀磁场，3.磁力线不和线圈平行，中间部分的磁场比两边的强。 运动电子在磁场中受到Lorentz力作用，其表达式为： e:运动电子电荷；v: 电子运动速度矢量；B: 磁感应强度矢量；F: 洛仑兹力 。;磁透镜使电子会聚的原理;对于透射电子显微镜而言，n=1, β0.1 rad;当 时，可以得到最佳孔径角：;磁透镜的放大倍数;透射电镜的结构; 透射电镜的结构 ;真空系统 ;; （1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 （3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。;Electron Beam Source;场发射电子枪