第五章电子光学基础探析.pptVIP

第五章 电子光学基础;第一节 电子波与电磁透镜 第二节 电磁透镜的像差与分辨率 第三节 电磁透镜的景深和焦长;由衍射效应所限定的分辨率在理论上可由瑞利（Rayleigh）公式计算，即 式中，△r0为成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离，表示分辨率的大小， △r0越小，透镜分辨率越高； N为介质的相对折射系数；α为透镜的孔径半角。;△r0含义;物体上的物点通过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮、周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即埃利(Airy)斑。 如果样品上有两个物点S1、S2通过透镜成像，在像平面上会产生两个埃利斑S1’、S2’。两个物点相距较远时，两个埃利斑各自分开；当两个物点逐渐靠拢时，两个埃利斑也相互靠近，直至发生部分重叠。;当两个埃利斑的中心间距等于埃利斑的半径R0时，在两个埃利斑强度叠加曲线上，两个最强峰之间的峰谷强度降低了19％，这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉，即该反差是人眼能否感觉出存在S1’、S2’两个斑点的临界值。将此时两个埃利斑的间距折算到物平面上点S1、S2的位置上去，就形成两个以△r0＝R0/M为半径的小圆斑，两个圆斑之间的距离与它们的半径△r0相等。如果两个物点S1、S2的距离进一步缩小，就无法通过透镜把它们的像S1’、S2’分辨出来。 结论：若以任一物点为圆心，并以△r0为半径作一个