第一章半导体常规电学参数测试探析.pptVIP

第一章 硅单晶常规电学参数的测试;1.1 半导体硅单晶导电型号的测量;;;二、导电类型的测量方法;三、冷热探笔法;2、温差电动势、及电流的产生：;（b）P型半导体 ;3、导电类型的判定;冷探笔;STY-2仪器的优点; 1）插好背板上的电源线，并与～220V插座相接；将热笔、冷笔与面板上4芯、3芯插座相接。 2）打开仪器面板左下角的电源开关，电源指示灯及热笔加热灯亮。10分钟左右热笔达到工作温度时，保温（绿）灯亮，即可进行型号测量。热探笔随后自动进入保温→加热→保温→…循环，温度保持在40-60℃（国标及国际标准规定的温度）。 3）先将热笔在被测单晶面上放稳，后将冷笔点压在单晶上，液晶显示器即显示型号（N或P）。 ;4）测量电阻率较高的单晶时，请将N型调零电位器P型调零电位器调近临界点（逆时针旋转），以便提高仪器的测量灵敏度。 5）在P型、N型显示不稳定时，以多次能重复的测量结果为准。 6）测量时握笔的手不要与被测单晶接触，以免人体感应影响测量结果。 ;如图所示，在样品上压上三个探针，针距在0.15-1.5mm范围。在探针1和探针2之间接上交流电源，在探针2和探针3之间接上检流计。根据检流计的指针偏转的方向来判断晶体的导电类型。;测试原理：以N型半导体为例，如图所示： ;得到外加电压和u2u2 ′的波形图;如为P型材料，则同理分析，电压u2u2 ′ 有负的直流分量，在探针2,3的电