2014吸附材及尾气处理系统简介V5(CWE)繁体版答案.ppt

泉緯實業股份有限公司 索 引 產品最大月產能 化學吸附材產品、吸附材原理介绍 產品優勢 吸附材應用範圍 富X康（昆山）-噴塗尾氣處理方案 化學性吸附材 COO 試算 TVOCs 尾氣處理實際案例 CNC 尾氣減量處理設備實際案例 * * H-Series 吸附材 ※ H-002 : 75 TON ※ H-203 : 75 TON ※ H-205 : 75 TON ※ H-006 : 3 TON ※ H-007 : 25 TON ※ H-008 : 75 TON ※ H-109 : 75 TON ※ H-139 : 5 TON ※ H-128 : 75 TON ※ H-112 : 90 TON ※ H-137 : 75 TON ※ H-122 : 30 TON ※ H-138 : 5 TON D-Series 變色球 ※ D-001 : 10 TON ※ D-003 : 10 TON ※ D-006 : 10 TON 產品最大月產能清單 * 化學性吸附材產品及原理介紹 * 吸附材/種類比較 物理性吸附材 活性碳,沸石 可逆反應 DRE 0 成份為可燃性,危險性高 高溫型化學性吸附材 金屬氧化物 不可逆反應 DRE TLV 成份為不可燃性,安全性 高 常溫型化學性吸附材 金屬氧化物 不可逆反應 DRE TLV 成份為不可燃性,安全 性高 * 吸附材型號與對應處理氣體 13大類 ※ H-002 : 氟化物氣體 Acid Gases BF3,HF,F2, WF6,SiF4, ect., ※ H-203 : 氫化物氣體 Ion Implant PH3,AsH3,GeH4,B2H6 ,ect., ※ H-205 : 氯化物氣體 Acid Gases ClF3,Cl2,HCl,BCl3 ,SiCl4,ect., ※ H-006 : 氮化物氣體 NH3,TDMAT,HCN, N2O,NO,NO2,NOx,ect., ※ H-007 : 硅烷氯硅烷有機類氣體 SiH4,DCS,TCS, TEOS, DEZ,PGMEA,Dioxin, ※ H-008 : 硫化物氣體 Acid Gases H2S,SO2 ,,ect. ※ H-109 : 高溫型. 550oC Fluoride ,Chloride and Bromide DCS,SiH4,WF6,HF,HCl,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3, SF6, ※ H-139 : 高溫型. 350oC Fluoride ,Chloride and Bromide DCS,SiH4,WF6,HF,HCl,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3,ect., ※ H-128 : 高溫型. 550oC Fluoride ,Chloride and All PFC Gases DCS,SiH4,WF6,HF,HCl,Cl2,SiCl4,ClF3,HBr,NF3, CF4, C2F6, SF6,PFCs ※ H-112 : 大流量强效型 Fluoride ,Chloride Bromide HF,SiF4,HCl,Cl2, SiCl4,HBr,ect., ※ H-137 : 太陽能特用型 Thin Film SiH4,PH3,TMB,CH4,,ect., ※ H-122 : 太陽能特用型 CIGS H2S, H2Se,SO2,SeO2,ect., ※ H-138 : 一氧化碳 CO,,ect., 化學性吸附材介紹 / H-系列 * Resin/H-series * 吸附材原理 吸附材 Resin / Absorbent 吸附材為多孔性結構物，一般是對氣體混合物的各組 分具有不同的吸附及反應性，而能選擇性地吸收其中 一種组分或幾種组分的氣體。 分 類 吸附材在操作中能够吸收、黏住 凡得瓦力 混合氣 體中某些特定组分的分子栓。吸附作用一般分為： 物理性吸附和化學性吸附兩大類。 物理性吸附：與氣體間無化學反應，屬可逆性反應 化學性吸附：與氣體間有化學反應，屬不可逆性反應 化學吸附劑大多是某種活性組成的成分。 * 物理性吸附材～活性碳 物理性吸附材 可逆性反應 活性碳： 應用產品如口罩、濾水器、濾心等，活性碳特性為 價格便宜、好用，但是不耐熱，用於廢氣吸附儘能黏 住氣體分子，無法形成化學反應作用。 Ex：活性碳不適用原因，如～化學式： 2Cl2+2H2O→4HCl+O2 若用活性碳處理氯氣，活性碳吸附氯氣後，若暴露在 空氣中，會與空氣中的水氣