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第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析;第二节 样品制备;一、支持膜法;支持膜材料必须具备的条件:
① 无结构,对电子束的吸收不大;
② 颗粒度小,以提高样品分辨率;
③ 有一定的力学强度和刚度,能承受电子束的照射而不变形、破裂。
常用的支持膜材料:火棉胶、碳、氧化铝、聚乙酸甲基乙烯酯等。
在火棉胶等塑料支持膜上镀一层碳,提高强度和耐热性,称为加强膜。;一、支持膜法;二、晶体薄膜法;二、晶体薄膜法;二、晶体薄膜法;3) 最终减薄 最终减薄后获得表面无腐蚀和氧化、且对电子
束透明的样品。方法为双喷电解抛光法和离子减薄法
对于金属材料通常采用高效简便的双喷电解抛光法,其原
理间图11-2,电解抛光液配方见表11-2或查找有关手册
对于不导电材料,可采用离子减薄法,但此方法比较费时
;终减薄方法:;三、复型法;① 一级复型塑料一级复型;① 一级复型塑料一级复型;碳一级复型;喷碳装置;② 二级复型;塑料-碳二级复型;塑料-碳二级复型;③ 萃取复型;三、复型法;三、复型法;四、超薄切片法
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