微结构(MEMS)材料力学性能测试技术要点.ppt

微结构（MEMS）材料力学性能的测试技术;制造方法 化学沉积、溅射、电镀等方法形成薄膜，再经光刻、蚀刻、牺牲层腐蚀、体硅腐蚀等形成各种形状，构成微机械结构。 基本构件 主要有细丝、悬臂梁、微桥、薄膜、齿轮和微轴承等。 －当构件细微到微米/纳米尺度后，材料本身的力学、物理性质及其受环境的影响程度有很大变化，会出现强烈的尺寸效应、表面效应，传统的力学性能参数已不能满足MEMS微结构的设计要求。 －当构件小到一定程度时，由于表面效应、组织结构及加工过程的影响，材料的力学性能与体相时相比有显著的不同，如：单、多晶硅显示出较大的断裂强度和较小的裂纹扩展速度等； 目前，由测试所得到的微结构件的力学性能参数分散性较大，甚至连最基础的弹性模量都没有一个公认的结果。;－目前，硅类薄膜材料的电学、化学特性均得到了充分的了解，但对其力学性能的了解还甚少，主要原因是力学性能测试技术未能跟上，对MEMS结构的可靠性和失效性的研究还不充分，由于缺乏有关微结构材料力学性能的基础数据，目前还没有建立起一个有效的机械可靠性设计准则，严重地阻碍了MEMS的设计和发展。 ;MEMS器件在工业中得到了广泛的应用，但其结构部分的形式有限，大多数MEMS的设计包括如下一些基本单元;微型薄膜;微型齿轮;微型反射板;MEMS的设计和服役中需了解的力学特性 ①弹性模量：决定着器件的结构响应特性； ②残余应力：影响器件的成品率和服役