一种铁电复合膜及其制作的原型器件重点.doc

PAGE  专利申请信息确认表  PAGE  PAGE 0 说 明 书 摘 要 本发明公开了一种光致伸缩复合膜及其制成的光驱动器，该复合膜依次由衬底层、下电极层、压电材料层、中间电极层、光伏材料层和顶电极层六层组成，将压电材料和光伏材料制成薄膜形式，有利于减小光驱动器的尺寸；将压电薄膜和光伏薄膜制成复合膜，有利于提高光驱动器的光致伸缩效应。本发明的光驱动器的下电极层的截面设计为L形，将压电材料层、光伏材料层和顶电极层设置在L型腔内并与下电极连接，实现底电极和顶电极的无导线导通，进一步有利于减少光驱动器的尺寸，可使光驱动器更美观。 摘 要 附 图 请描述各层的作用： 上电极：将光照下光伏层PLZT产生的电压输送到压电层PZT上。此时光伏层PLZT相当于电源，上电极起导线的作用。为了让更多的光透射到光伏层PLZT，我们选择透明的ITO作为上电极。 光伏材料层：光伏层起电源的作用，能产生电压。铁电材料具有反常光生伏打效应，在光照下能产生电压。所以我们选择具有较高光成电压的铁电材料PLZT作为光伏层。 中间电极层：起导线的作用。与上电极一起，将光照下光伏层PLZT中产生的电压传输到压电层PZT上。 压电材料层：产生形变。将光照下光伏层PLZT产生的电压传输到压电层上。利用压电层的逆压电效应，使压电层在电场作用下产生形变。为了 产生更大的形变，我们选择具有压电系数较大的PZT作为压电层。 底电极层：为了测量光伏层的光生电压和压电层的压电性能，需要导电性良好的底电极材料。 衬底层：由于光伏层、压电层、电极层等，都是薄膜，而薄膜必须制备在平整的“片”状材料上才能存在，这就是衬底(也叫基片)。如果将SRO单晶作为衬底的话，则衬底STO可以不要。考虑到SRO单晶比较昂贵，而STO比较廉价，所以我们选择STO作为衬底。 PLZT与PZT是否可以不接触SRO? PLZT蓝色线条部分是否可以不要，可以 此种结构是否可行 底电极的结构为L形正是本发明专利的创新点之一，直接用底电极将顶电极ITO和底电极SRO导通，而不用导线连接，这无论从尺寸上和美观上都是有利的。——也就是说压电材料PZT和光伏材料PLZT可以设计为不需要与底电极导通 权 利 要 求 书 一种光致伸缩复合膜，其特征在于：包括六层，依次为： 一衬底层； 一底电极层，设置在衬底层上； 一压电材料层，设置在底电极层上； 一中间电极层，设置在压电材料层上； 一光伏材料层，设置在中间电极层上； 一顶电极层，设置在光伏材料层上，用于将光线透射到光伏材料层。 根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述衬底层采用SrTiO3，SrTiO3(STO)与 SrRuO3(SRO) 均属于钙钛矿型氧化物，与PZT 的晶格匹配程度较好，且导电性优良，以SRO作为衬底和底电极，易制备出结晶度好、 漏电流小、抗疲劳性能高的 PZT 取向薄膜。是否可用其他材料替换。可以用其它材料替换，只是，选择合适的材料，得到的伸缩效应会更大。 根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成，也可以采用与PZT晶格匹配好，导电性好的钙钛矿型LaNiO3等。是否有其他材料替换。 4.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述压电材料层选用锆钛酸铅（Pb（ZrxTi1-x）O3），也可采用钛酸铅（PbTiO3）、（压电性钛酸钡（BaTiO3）等，但后两者的压电性能比Pb（ZrxTi1-x）O3差。是否有其他材料替换中的一种制成，x取值范围0.52,0.53，在此比例，易形成准同型相界，压电性能达到最大值，其中x为0.52最佳，所以优选Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 5.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述光伏材料层采用PLZT（Pb1-xLaxZr1-yTiyO3），其他铁电材料如钛酸钡（BaTiO3）、铁酸铋（BiFeO3）等，但与PLZT相比，BaTiO3光伏效应弱，而BiFeO3具有铁磁性，会对光驱动器产生电磁干扰。已有文献报道，掺La量为0.03时，可获得较大的光生电压。是否有其他材料替换铁电材料中的一种制成，优选Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 6.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述顶电极层采用铟锡氧化物（ITO）制成，其它如锡氟氧化物（FTO）、锌铝氧化物（AZO）。是否有其他材料替换。 7.一种光致伸缩复合膜的光驱动器，其特征在于：包括衬底层，其上设置有底电极；所述底电极截面设置为L形，底电极的L型腔内平行于其底面