电阻应变式传感器探析.ppt

4.2 电阻应变式传感器 电阻应变式传感器由电阻应变片和测量电路组成。其敏感元件的电阻随着机械变形（伸长或缩短）的大小而变化。它广泛应用于测量力和与力有关的一些非电参数（如压力、荷重、扭力、加速度等）。 电阻应变传感器的特点是精度高，测量范围广；结构简单，性能稳定可靠，寿命长；频率特性好，能在高温、高压、振动强烈、强磁场等恶劣环境条件下工作。 4.2.1 应变片的工作原理 图4-10 电阻应变片的基本形状 图4-10示出了电阻应变片的基本形状。图中， 称为应变片的标距或称为工作基长；b称为应变片的工作宽度。 金属导体的电阻随着它所受机械变形（伸长或缩短）的大小而发生变化的现象，称为金属电阻的应变效应。这就是电阻应变片赖以工作的物理基础。 金属导体的应变效应 金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着它所受机械变形 ( 伸长或缩短 ) 的变化而发生变化的现象。 根据电阻的定义式: ； 如果金属导体在外力作用下产生变化量?ρ、?l、?A时，其相对变化率为： 对于直径为D的圆柱形截面电阻丝，因为A=лd2/4；故： 由材料力学知，横向收缩 和纵向伸长 的关系为： 由上页的公式得出： 下面分导体和半导体两种情况对上式进行讨论： 金属电阻应变片（按结构形式分） 丝式 箔式 薄膜式 半导体应变片 体型半导体应变片 薄膜型半导体应变片 扩散型半导体应变片 金属电阻应变片 式中第二项 是由于受力后材料的电阻率发生变化而引起的，对多数金属材料其值是个常数，往往甚小，可以忽略。式中第一项是由电阻丝几何尺寸变化引起的，对某种材料来说，其值是常数。因此，上式可写成为： 式中， 称为应变灵敏度系数。由于大多数金属材料的 之间，所以 在1.6~2.0之间。 金属电阻应变片具有分辨率高，非线性误差小；温漂系数小；测量范围大，可从弹性变形一直测至塑性变形（1％～2％），可超载达20％；既能测量静态应变，又能测量动态应变；价格低廉，品种繁多，便于选择和大量使用等优点，因此在各行各业都广泛应用。 金属电阻应变片常用的三种。 丝式:常用高电阻率的金属电阻丝制成，允许最大工作电流较小。 箔式:通过光刻、腐蚀等工序制成的一种很薄的金属箔栅，允许最大工作电流较大，灵敏度高。 薄膜式:是采用真空蒸镀技术在薄的绝缘基片上蒸镀上金属电阻材料薄膜，允许最大工作电流较大，灵敏度较高。 应变片电阻值通常有60、120、200、350、500、1000Ω几种，其中以120Ω为最常用。 允许最大工作电流是指通过应变片而不影响其工作的最大电流值。工作电流大，应变片输出信号就大，灵敏度高。允许最大工作电流与应变片的允许最大功耗有关，即： 通常允许最大工作电流 ，在静态测量时约取25mA左右，动态测量时可更高一些。 金属电阻应变片 半导体应变片 对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时，它的电阻率会发生变化，这种物理现象称为半导体的压阻效应。 半导体应变片是根据压阻效应原理工作的。 当沿某一晶轴方向切下一小条半导体应变片，若只沿其纵向受到应力，其电阻率的变化量可由下式表示： 式中， 为半导体纵向压阻系数； 为半导体材料的弹性模量； 为沿半导体小条纵向的应变。 将式（4-20）代入式（4-17），得半导体应变片的电阻相对变化量 上式中第一项是由几何形状变化而引起的电阻相对变化量，其值很小，约为1～2；第二项是由压阻效应引起的，其值约为第一项的50～70倍，故第一项可忽略。因此上式可写成 式中， 称为半导体应变片的灵敏度系数。 半导体应变片 突出的优点是灵敏度系数高，可测微小应变（一般600微应变以下）；机械滞后小；动态特性好；横向效应小；体积小。 其主要缺点是：电阻温度系数大；一般可达10－3/℃；灵敏度系数随温度变化大；非线性严重；测量范围小。因此，在使用时需采用温度补偿和非线性补偿措施。 4.2.2 电阻应变传感器的测量电路 由于电阻应变片工作时其电阻变化很微小，例如，一片 、初始电阻120Ω的应变片，受1333微应变（约2吨重的力）时，其电阻变化仅0.36Ω。 测量电路的任务是把微弱的电阻变化转换成电压或电流的变化，因此常用直流电桥和交流电桥作为测量电路。 目前应变片电桥大都采用交流电桥，但由于直流电桥比较简单，交流电桥原理与它相似，所以以直流电桥作分析,如图4-11所示。 图4-11 桥式测量电路 电桥测量电路的分析 电桥测量电路见图4-11，图中 分别为四桥臂电阻， 为供桥电压， 为