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珀金埃尔默（仪器）上海有限公司 售后维修部 NexION300用户培训 NexION? ICP-MS 系统 射频发生器门 射频发生器排风口 蠕动泵 机械泵 进样系统 炬箱门 前面板 NexION? ICP-MS 系统 分子涡轮泵 真空腔 排风 反应池电路板 炬箱及炬管模块 射频发生器 XYZ Stage 电路模块 冷却水机氩气供应 1 2 3 4 5 6 7 8 9 机械泵 主四级杆 DC+AC(U+ Vcoswt) 检测器 预四级杆 AC Only(Vcos?t) 池四级杆DC + AC ( U + Vcos?t ) 排放阀 分子涡轮泵 碰撞反应气入口 Ar 真空切换阀 Ar 离子偏转透镜 采样锥 截取锥 超级截取锥 Interface 势垒 排废液 NexION 真空系统(点炬) 接口切换阀 Fore line trap 单一的真空接口带2米长的波纹管连接到机械泵。 分子涡轮泵切换阀 NexION? ICP-MS 系统 为什么使用Ar等离子体 等离子体能量产生正离子 Ar = 15.76eV 大多数元素 8eV 大多数元素从氩等离子体获取能量电离成正离子 ICPMS可以分析同位素 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - Cr 24p 28n - - - Element 1st Ionization Potential Ar 15.76 Cr 6.79 Cu 7.73 Pb 7.42 Page 7 各元素的第一电离点位 在氩离子等离子炬的条件下各元素的电离效率 进样系统介绍 蠕动泵 雾化器 雾室 等离子炬及注射管 旋流雾室雾化器位置的调整 雾化器尖端喷嘴要尽量对齐雾室外圈 三级锥接口的好处 很好的限制射束(~2-3 mm) 质谱仪系统内几乎没有沉积物 NexION 有两级较小的真空差: 较小的射束发散性, 防止沾污进入到质谱仪系统-非常小的漂移，且煎炒保养次数。 采样锥 截取锥 超级截取锥 pressure distance 仪器的ICPMS系统– 只有一级很大的真空差: 较大的射束发散性, 更多的沾污进入到质谱仪系统 较大的漂移和保养次数 图例: 蓝色 = 来源于等离子体的射束(离子 + 中介子 + 沾污); 红色 = 每个锥之间的压力差 采样锥 截取锥 pressure distance 离子聚焦系统 聚焦离子 使离子射束垂直改变方向，聚焦离子射束进入到分析器区域 中子，基态原子和分子被真空抽走 只有被检测的离子进入分析系统 Ions 四级杆离子筛选器 RF RF Mass Voltage Voltage Cu 63+ Pb 208+ Ba 69++ 63/1 138/2 208/1 Page 14 主四级杆扫描线 AC （V） DC （U) 9Be 59Co 115In 238U 238U 稳定区域 预四级杆和碰撞池扫描线 四极杆扫描稳定区域图 检测器电压 设置电压在检测器的两端级 双检测器校准 双检测器校准提高检测的动态范围。 0-1x109 cps 从检测器的两级同时读数。 打拿级检测器 打拿级检测器 功能：计算从四级杆过滤过来的离子数。 怎么工作的- 离子撞击打拿级产生倍增电子，从而产生脉冲或模拟型号 + -VDC +VDC 双检测器校准 双检测器校准 转换到模拟信号去有效的计算离子数。 扩大检测范围 0-1x109 cps 改变离子透镜电压从而削弱离子束以达到检测信号穿过校准区域（1x105- 2 x106 cps)获取校准点。 珀金埃尔默（仪器）上海有限公司 售后维修部 碰撞池技术 Ar KED模式碰撞原理 V As Ca 碰撞池 主四级杆分析器 预四级杆 惰性碰撞气(He) Se+ ArAr+ 离子穿过碰撞池时具有相似的动能 离子与碰撞气发生碰撞 σ 分子团离子 σ元素离子 ArAr+ 比Se+发生更多碰撞 ArAr+ 比Se+损失更多动能。 KED 的图解 距离 离子动能 势垒电压 主四级杆分析器 预四级杆 碰撞池 ArAr+ KED 的图解 距离 离子动能 势垒 ArAr+ KED 的图解 主四级杆分析器 预四级杆 碰撞池 距离 离子动能 势垒 ArAr+ KED 的图解 主四级杆分析器 预四级杆 碰撞池 距离 离子动能 势垒 ArAr+ KED 的图解 主四级杆分析器 预四级杆 碰撞池 距离 离子动能 势垒 ArAr+ KED 的图解 主四级杆分析器 预四级杆 碰撞池 距离 离子动能 势垒 ArAr+ KED 的图解 主四级杆分析器 预四级杆 碰撞池 距离 离子动能 势垒 ArAr+ KED