滚转角干涉仪.pptxVIP

精密滚转角测量干涉仪使用说明书基本原理 – 光学原理λ1λ2zEzConfidential光学拍基本原理 – 光学原理EMERTConfidential拍频比相产品性能参数取决于反射镜尺寸，根据设计尺寸计算行程约为6m，实际完全可以满足3m行程的使用滚转角范围DPMI水平分光方式，1000mm行程可测±0.4°。DPMI竖直分光方式，1350mm行程可测±1.3°。测量分辨率计算公式采用ZMI2000,1count = 0 = 3.8094541μradConfidential测量行程产品构成楔面反射镜ZYGO DPMIConfidential楔角棱镜产品构成固定在被测物体前面，尽量靠近被测物体。具体使用说明参见OMP-0223DDPMI竖直分光DPMI水平分光ConfidentialZYGO DPMI产品构成固定在被测物体上随被测物体一起运动。注意光从小孔入射，从大孔出射小孔大孔Confidential楔角棱镜产品构成固定在被测物体后面，尽量靠近被测物体。Confidential楔面反射镜光路结构楔面反射镜楔角棱镜DPMI分光模块Confidential滚转角测量光路产品安装保证光学平台或辅助垫块清洁、平整，将激光器安装，具体参见OMP-0223DDPMI的安装保证光学平台或辅助垫块清洁、平整，将DPMI安装，具体参见OMP-0223DConfidential