the5thlect电子能谱法精编.ppt

电子能谱分析法 几种分析方法比较 表3主要表面分析技术特性比较 分析技术 AES XPS ISS SIMS 测量类型 能量 能量 能量 质量（静） 质量（动） 测量 主要 元素 元素，化学键 元素 元素，同位素 元素，同位素 信息 辅助 像，化学键 深度分析， 同位素结构 化合物 成像，化合物 深度分析等 价带结构等 飞行质谱 深度 1nm 1nm 0.3nm 0.6nm 10nm 侧向 1-0.1?m 1mm-100?m 1mm 1mm 0.5-0.05?m 灵敏度（原子分数）10（E-3,-2） 10(E-3,-2)