一种铁电复合膜及其制作的原型器件讲解.doc

专利申请信息确认表 说 明 书 摘 要 附 图 。铁电材料反常光生伏打效应光照。压电的效应，压电层在电场作用下产生。层光生电压和压电层的性能需要导电性良好的底电极材料。 底电极的结构正是本发明专利的创新点之一直接底电极将导线权 利 要 求 书一顶电极层，设置在光伏材料层上，用于将光线到光伏材料层。 根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述衬底层采用SrTiO3SrTiO3(STO)与 SrRuO3(SRO) 均属于钙钛矿型氧化物，与PZT 的晶格匹配程度较好且导电性优良以SRO作为衬底和底电极，易制备出结晶度好、 漏电流小、抗疲劳性能高的 PZT 取向薄膜是否可用其他材料替换。 根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成也采用匹配，性好的钙钛矿型aNiO3等。是否有其他材料替换。 4.锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3），也可采用铅（bTiO3）性（aTiO3），但后两者的比PbZrxTi1-x）O3差。是否有其他材料替换中的一种制成，x取值范围0.52,0.53，在此比例，形成准同型达到最大值为佳，所以Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 5.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述光伏材料层采用PLZT（Pb1-xLaxZr1-yTiyO3），其他材料如（aTiO3）、铁酸铋（iFeO3）等，但，BaTiO3效应，iFeO3具有铁磁性光驱动器产生电磁干扰。文献报道，掺a量为0.03时，可获得较大的光生电压。铁电Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 6.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述顶电极层采用铟锡氧化物其如氧化物（TO）铝氧化物（）伸缩复合膜的光驱动器 8.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述衬底层采用SrTiO3。 9.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3）中的一种制成，x取值范围……优选Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 11.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述光伏材料层采用PLZT铁电Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 12.根据权利要求7所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述顶电极层采用铟锡氧化物说 明 书 技术领域 背景技术 发明内容 SrTiO3。 进一步，所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成。 进一步，所述压电材料层选用锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3）中的一种制成，x取值范围……优选Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 进一步，所述光伏材料层采用PLZT铁电Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 进一步，所述顶电极层采用铟锡氧化物伸缩复合膜的光驱动器SrTiO3。 进一步，所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3）中的一种制成，x取值范围……优选Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 进一步，所述光伏材料层采用PLZT铁电Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 进一步，所述顶电极层采用铟锡氧化物形变大则需电场大,系数大电场，需材料在光照下能产生高的光生，光伏层来说，膜厚可获得高的光生电压，压电来说，减小压电层膜厚，则可获得大的电场强度和系数，从而大的形变。，附图说明具体实施SrTiO3。 所述底电极层2和中间电极层4采用SrRuO3制成。 所述压电材料层3选用锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3）中的一种制成，x取值范围……优选Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 所述光伏材料层5采用PLZT（全化学式）铁电Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 所述顶电极层6采用铟锡氧化物伸缩复合膜的光驱动器SrTiO3。 所述上电极层6’、光伏材料层5’、中间电极层4’、压电极层3’和下电极层2’ 所述底电极层和中间电极层采用SrRuO3制成是否有其锆钛酸铅Pb（ZrxTi1-x）O3）中的一种制成，x取值范围……优选Pb（Zr0.52Ti0.48）O3。 所述光伏材料层采用PLZT（全化学式）铁电Pb0.97La0.03Zr0.52Ti0.48O3。 所述顶电极层采用铟锡氧化物说 明 书 附 图 图2 2 PLZT与PZT是否可以不接触SRO? PLZT蓝色线条部分是否可以不