材料制备加工无机非复习部分要点.doc

第一讲 粉体技术 1.1纳米粉体制备 a.气相法（蒸发凝固、溅射、CVD） 定义：气相法指直接利用气体或者通过各种手段将物质变为气体，使之在气体状态下发生物理变化或化学反应，最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米微粒的方法。 气相法的分类：主要分为气体中蒸发法，溅射法、化学气相反应法，化学气相凝聚法。其中前两种属于物理气相沉积，后两种方法属于化学气相沉积 。 气相法合成过程: 1.源原子形成：蒸发、溅射、激光等能量源的赋能作用，产生高密度的蒸气（源原子）。 2.粒子成核：引入载气（如惰性气体或加入反应气体O2、N2等），通过气相粒子的碰撞来限制自由程、提高过饱和度、促进成核。 3.粒子长大：碰撞还可以吸收热量、冷却原子，使粒子间相互碰撞、微粒长大。 气相法的特点和优势，主要包括:表面清洁;粒度整齐，粒径分布窄;粒度容易控制;颗粒分散性好；通过控制可以制备出液相法难以制得的金属碳化物、氮化物、硼化物等非氧化物超微粉。 蒸发冷凝法 原理：在高真空的条件下，试样经蒸发后冷凝 优点：高纯度，粒径分布窄，良好结晶和清洁表面，粒度易于控制等 溅射法 原理：在电场的作用下离子冲击阴极靶材表面，使靶材原子从其表面蒸发出来形成超微粒子，并在附着面上沉积下来。 优点：可制备多组元的化合物纳米微粒，通过加大被溅射的阴极表面可提高纳米微粒的获得量。 Chemical Vapour Deposition（ CVD