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第4章 电感式传感器 4.1 变磁阻式传感器 4.2 差动变压器式传感器 4.3 电涡流式传感器 电感式传感器的工作基础：电磁感应 即利用线圈电感或互感的改变来实现非电量测量 分为变磁阻式、变压器式、涡流式等 特点： 工作可靠、寿命长 灵敏度高，分辨力高 精度高、线性好 性能稳定、重复性好 4.1 变磁阻式传感器（自感式） 4.1.1 工作原理 变磁阻式传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料制成。 在铁芯和衔铁之间有气隙，传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时，气隙厚度δ发生改变，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感值变化，因此只要能测出这种电感量的变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。 线圈中电感量可由下式确定： 根据磁路欧姆定律： 式中, Rm为磁路总磁阻。 （4-1） （4-2） 气隙很小，可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为 （4-3） 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即 （4-4） 则式（4-3）可写为 （4-5） 联立式（4-1）、 式（4-2）及式（4-5）， 可得 （4-6） 上式表明：当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变δ或A0均可导致电感变化，因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积A0的传感器。 　　目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。  4.1.2 输出特性 L与δ之间是非线性关系， 特性曲线如图5-2所示。 图4-2 变隙式电压传感器的L-δ特性 分析： 当衔铁处于初始位置时，初始电感量为 （4-7） 当衔铁上移Δδ时，传感器气隙减小Δδ，即δ=δ0－Δδ， 则此时输出电感为 （4-8） 当Δδ/δ01时（台劳级数）： （4-9） 可求得电感增量ΔL和相对增量ΔL/L0的表达式，即 (4-10) (4-11) 同理，当衔铁随被测体的初始位置向下移动Δδ时，有 （4-12） （4-13） 对式（4-11）、（4-13）作线性处理，即忽略高次项后，可得 （4-14） 灵敏度为 可见：变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，因此变隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合。 （4-15） 与 衔铁上移 切线斜率变大 衔铁下移 切线斜率变小 与线性度 衔铁上移： 衔铁下移： 无论上移或下移，非线性都将增大。 差动变隙式电感传感器 　　为了减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。 衔铁上移Δδ：两个线圈的电感变化量ΔL1、ΔL2分别由式（4-10）及式（4-12）表示， 差动传感器电感的总变化量ΔL=ΔL1+ΔL2, 具体表达式为 对上式进行线性处理, 即忽略高次项得 灵敏度K0为 比较单线圈式和差动式：  ① 差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的两倍。 ② 差动式的非线性项(忽略高次项)： 单线圈的非线性项（忽略高次项)： 由于Δδ/δ01，因此，差动式的线性度得到明显改善。 4.1.3 测量电路 电感式传感器的测量电路有交流电桥式、 变压器式交流电桥以及谐振式等。  1. 交流电桥式测量电路 当衔铁下移时： 变压器式交流电桥 2. 变压器式交流电桥 电桥两臂Z1、Z2为传感器线圈阻抗，另外两桥臂为交流变压器次级线圈的1/2阻抗。 当负载阻抗为无穷大时， 桥路输出电压 当传感器的衔铁处于中间位置，即Z1=Z2=Z，此时有　　　　　　　　　　 　　 ， 电桥平衡。 当传感器衔铁上移：如Z1=Z+ΔZ，Z2=Z－ΔZ， (4-25) 当传感器衔铁下移：如Z1=Z－ΔZ，Z2=Z+ΔZ， 此时 (4-26) 可知：衔铁上下移动相同距离时，输出电压相位相反，大小随衔铁的位移而变化。由于 是交流电压， 输出指示无法判断位移方向，必须配合相敏检波电路来解决。 3. 谐振式测量电路 分为：谐振式调幅电路和谐振式调频电路。 调幅电路特点：此电路灵敏度很高， 但线性差，适用于线性度要求不高的场合。 调频电路：振荡频率 。当L变化时，振荡频率随之变化，根据f的大小即可测出被测量的值。具有严重的非线性关系。 4.1.4 变磁阻式传感器的应用 变隙电感式压力传感器结构图 当压力进入膜盒时，膜盒的顶端在压力P的作用下产生与压力P大小成正比的位移，于是衔铁也发生移动， 从而使气隙发生变化， 流过线圈的电流也发生相应的变化，电流表A的指示值就反映了被测压力的