电子科大薄膜物理(赵晓辉)第一章 真空研讨.ppt

Thermocouple—热电偶 由两条不同的金属丝连接构成。 测量连接点的温度 温度上升时，电压随之升高。 Heating System Resistance heating 电阻加热 Electronic bombardment 电子轰击 Lamp heating 灯丝加热 RF heating 射频加热 Contact or NOT? §1-6 LEAK DETECTION 检漏 漏气的可能 Outgassing Leaks Virtual Real Backstreaming Diffusion Permeation Trapped Volumes Vented Screw Double O ring sealed shafts Atmosphere (760 torr) Vacuum Differential Pumping Atmosphere (1013 mbar) Vacuum To Pump 1 mbar standard cubic centimeter/sec(sccs) 密封后的残余气体像真正的泄漏: 1 mm3 @1 atm = 1000 L @10-6 Torr 泄漏速率 10-1 sccs 10-3 sccs Leak Rates over Time 10 -1 STD CC/SEC 1 CC/10 SEC 10 -3 STD CC/SEC 3 CC/HOUR 10 -5 STD CC/SEC 1 CC/DAY 10 -6 STD CC/SEC 1 CC/2 WEEKS 10 -7 STD CC/SEC 3 CC/YEAR 10 -9 STD CC/SEC 1 CC/30 YEARS Permeation Leaks 渗透泄漏（Permeation leaks）与真正的泄漏不同，唯一消除的办法只能是更换为渗漏较少的材料。 为什么用氦气检漏 ? §1-7 Vacuum Materials 机械性能：可以被加工和制作； 强度； 耐温性 热性能： 高温时材料的蒸汽压必须很低； 相邻材料的热膨胀匹配，特别是接口处。 Gas Loading 不能是多孔的；必须没有裂纹裂缝（会陷入清洁用溶剂，成为虚拟的泄漏源。） 极端温度和辐射条件下的表面和整体解吸速率不能太高。 Common Materials Austenitic Stainless Steel (奥氏体不锈钢) 高真空和超高真空最常用的材料，满足所有上述要求。 Aluminum and Aluminum Alloys （铝合金）便宜，易加工，锌含量低时放气率很低。缺点是高温下强度较低，焊接时形变严重。 Ceramics – 完全玻璃化的陶瓷和氧化铝是很好的绝缘体，放气率低，气体渗透少，可在1500℃高温下使用。部分陶瓷可机械加工。易碎，使用时小心轻放。 Borosilicate Glass (硼硅), Pyrex (耐热玻璃), 经常用做小系统或观察窗口。易于加工成部件，抗腐蚀。 Nitrile（腈） Rubber. Buna N t.m （丁纳橡胶）. 经常用来制作橡胶圈 O rings. PTFE 具有自润滑特性，较低的放气率，较好的电绝缘体。相比于其他塑料，可用于较高温度。过高的渗透率使得PTFE不适合作为真空密封。 Polycarbonates and Polystyrene（聚苯乙烯） 放气率略低，有吸水特性，较好的电绝缘体。 Nylon具有自润滑特性，但放气率较高，容易吸水。 Plastics Acrylics（丙烯酸树脂） 与尼龙相仿. PVC 放气率高，可应用于粗真空系统和检漏系统的临时连接件。 Polyethylene（聚乙烯） 也可以用。 §1-8 真空系统 High Vacuum Valve Mechanical Pump Thermocouple Gauge 2 Roughing Valve Foreline Valve Ion Gauge Final Diagram in all of its complexity Chamber Vent Valve Varian Diffusion Pump VHS-6 0184 Thermocouple Gauge 1 Cryotrap Gauge Controller Tee ASA 1.5’’? NW 25 Adaptor Flange NW 25 ? NW 40 Adaptor Flange Foreline Trap (NW40) ASA 6 in.? 8 in. (NW15