柔性非晶硅太阳能电池的制备中期答辩研讨.pptx

柔性非晶硅太阳能电池的制备 材科1001 臧冬冬 指导教师：冯晓东 目录 背景意义 制备方法 实验部分 结果与讨论 下阶段实验内容 背景意义 非晶硅太阳能电池在室内弱光下也能发电，已被广泛用于钟表，显示牌等不直接接受光照的场合下 非晶硅荧光灯 非晶硅电子表 制备方法 TCO（ITO） P层 I层 N层 ZnO Al电极 不锈钢衬底 实验部分 清洗不锈钢基板 实验室所用超声波清洗器 无水乙醇 去离子水 无水乙醇 实验部分 镀Al/ZnO背电极 磁控溅射镀膜机 实验部分 PIN层的制备 PEVCD 实验部分 PIN层的制备 RF-PECVD真空腔室结构图 RF-PECVD泵与阀门 A机械泵，B分子泵1、3电磁阀，2旁抽阀，4插板阀，5气体注入总阀，6大气注入阀 实验部分 PIN层的制备 实验所用气体 反应气体：H2，SiH4 实验部分 镀ITO前电极 实验所用氩气，氧气 实验部分 沉积参数 序号 流程 气体 流量(s) 压力（pa) 时间（s) 功率（w) 温度（度） 1 Al电极 Ar 18 3.8×10-1 1200 　40 200 2 ZnO Ar 18 3.8×10-1 1200 40 200 3 N1层 PH3 0.6 150 120 30 300 H2 80 SIH4 12 4 I1层 H2 80 150 1800 30 200 SIH4 12 5 H2辉光 H2 80 150 60 30 200 6 P1层 H2 120 100 60 30 200 SIH4 12 BF3 2.4 7 ITO高阻层 Ar 　18 　3.8×10-1 　120 　20 　200 O2 2 3.8×10-1 120 20 200 8 ITO层 Ar 18 3.8×10-1 2400 20 200 9 空气破真空 　 　 　 　 　 　 测试部分 太阳光模拟器 测试电池开路电压，短路电流，电流密度，电池效率，填充因子等各项参数 太阳光模拟器 结果与讨论 结果 电池IV曲线图 器件面5?5mm2 结果与讨论 电池各项参数 Voc V Isc（A） Fill Factor Efficiency*100% R at Voc R at Isc ? 0031.6890 0.87 180.448007 462.893 ? 分析：电池各项参数偏低，特别是短路电流。考虑为PECVD所镀的非晶硅薄膜质量差，缺陷多的原因。 下阶段实验内容 经过上一阶段试验，我们了解了柔性非晶硅太阳能电池的制备方法，能够通过实验设备制备出太阳能电池的样品 由于制备出的太阳能电池各项参数偏低，所以在下一阶段实验中，我们将着重通过规范操作步骤，优化工艺参数，制备出各项参数较理想的电池样品。 谢谢欣赏