电子显微分析 SEM信号与图像衬度研讨.pptVIP

第二节 SEM信号与图像衬度 一、固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号 二次电子，背散射电子，吸收电子，透射电子，特征X射线，俄歇电子， 阴极荧光及特征能量损失电子等。 二、物理信号像衬度（表面形貌衬度） 衬度：对比度；反差；亮暗差 一、固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号 电子束与固体物质相互作用产生的信息示意图 固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号 等离子激发 人射电子引起价电子云集体振荡 SEM信号的作用深度 如图： 俄歇电子的穿透深度最小， 一般穿透深度小于1nm； 二次电子小于10nm。 1、二次电子信号 被入射电子轰击出来的核外电子叫做二次电子。 大部分是价电子：一个高能入射电子被样品吸收时，可以在样品中产生许多自由电子，其中价电子电离约占电离总数的90%。所以，在样品表面上方检测到的二次电子绝大部分是来自价电子电离。 二次电子能量比较低 ：一般小于50eV电子结合能很小，对于金属来说大致在l0eV左右 二次电子分辨率1.5-6nm 二次电子探头 接收到的新号 仅来源于样品表面5nm－10nm的深度。 即：距样品表面5nm－10nm的深度内二次电子的才能逸出表面， 这是二次电子分辨率高的重要原因之一。 探测器（二次电子及背散射电子） 二次电子：栅网电压正300V 背散射电子：栅网电压负50V（阻止二次电子） 2、背散射电子信号