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146C 动态气体校准器 使 用 手 册 美国热电子与等离子有限公司 目 录 第一章 简介 1 工作原理 1 精确气体稀释系统 1 臭氧传递标准 2 气相滴定（GPT） 2 渗透炉 2 第二章 仪器安装 3 安装步骤 3 遥控接头 3 状态输入端 4 仪器状态输出 5 第三章 操作 7 显示屏 7 按键 7 RUN 键 7 MENU 键 7 ENTER 键 7 HELP 键 7 ( ( ( ( 键 8 软件简介 8 开机屏幕 9 自测试屏幕 9 运行屏幕 10 待机屏幕和零气运行屏幕 10 气体稀释运行屏幕 11 渗透炉运行屏幕 13 传递标准运行屏幕 14 气相滴定运行屏幕 15 主菜单 16 供气方式 17 待机状态 18 零气 19 A、B、C钢瓶气稀释气 20 渗透炉 21 传递标准 22 气相滴定（GPT） 23 流量控制 24 手动设置 25 零气，A、B、C稀释气 26 自动设置 27 A、B、C钢瓶气稀释气 28 渗透气体 31 臭氧发生器控制 34 仪器控制 35 波特率 36 仪器识别号 37 屏幕亮度 38 维修方式 39 时间 40 日期 41 诊断 42 程序号 43 电压 44 温度 45 选择开关 46 报警 47 机内温度 48 臭氧灯温度 50 渗透炉温度 52 维修方式 54 设置流量控制器 55 校准气体流量及校准零气流量 57 渗透炉 59 渗透炉温 60 校准DTOA #4 61 校准炉热敏电阻、气体热敏电阻、设置气体温度 62 外接电磁阀 63 A/D频率 65 测试D/A 67 置零 68 满度 69 D/A转换测试 70 设置测试屏幕 71 机内选择开关 72 遥控 73 RS－232 73 臭氧发生器 73 渗透炉 73 参数锁定 73 第四章 校准 74 质量流量控制器 74 臭氧发生器 75 使用49C和49C PS校准 75 只使用49C PS校准 75 在不同流量上校准臭氧发生器 76 渗透管炉 76 用水浴池设置测量温度 76 用已知的精确炉温的渗透炉设置测量温度 78 根据渗透管的重量减少量决定渗透率 79 根据传递标准确定渗透率 79 第五章 操作原理 81 电子部分 81 直流电源 81 臭氧发生器电源 81 渗透炉温控板 82 微处理器系统 82 显示组件 82 处理器板 82 D/A板 83 A/D板 83 C-LINK板 83 气路系统 83 精确气体稀释 83 臭氧发生器 84 气相滴定 84 渗透炉 85 第六章 故障诊断和排除 87 故障诊断与排除指导 88 第一章 简 介 146C动态气体校准器可以提供精确浓度的各种气体，如O3、CO、碳氢化合物（不包括CH4）、SO2、NOx、NO2等等。这些不同浓度的气体被用来对各种测量仪器进行校准，包括校零、准确度检查、单点检查、审核及多点测量。146C的技术指标完全符合或超过美国EPA的有关准确度检查，单点检查，审核及多点测量的标准。 所有146C的组件（包括质量流量控制器、O3发生器、渗透炉、电源和电磁阀）一直以来都被用于仪器校准，并以其准确性和可靠性而著称。在146C中，这些部件组成了一台受微机控制的仪器，并提供了菜单驱动软件，使用起来更为方便，且整个校准过程中可在屏幕上进行连续设置。此微处理器还能进行许多必要的计算，这样操作者就不用在现场或实验室进行有关参数的计算了。146C可以接受数据采集器或微机的遥控，进行零点、标点的检查或多点校准。 工作原理 146C有多达四种的供气装置，这四部分中只有气体稀释装置是仪器的基本组成部分，其它三部分是可选的。这四部分如下（图1-1）： 气体稀释系统 O3传递标准 气相滴定系统 渗透炉校准系统 精确气体稀释系统 气体稀释通过使用两个或更多的质量流量控制器来实现。一个是高流量控制器（10 slm），用来控制零气的流量；另一个是低流量控制器（100 sccm），用来控制被稀释的气体的流量。这两部分气体在一个Teflon混合室里充分混合。为能稀释多种气体，146C有三个独立的进气口，用哪种气体决定于开放A、B、C中哪个电磁阀（图1-1），必须注意的是一次只能打开一个电磁阀。 O3传递标准 146C可以装一个内置的O3发生器。O3是由空气经185 nm的紫外线照射而生成的。仪器既可通过改变零气的流量又可通过改变光强来改变O3的浓度。使用质量流量控制器可以保持O3流量的稳定。光强则可通过控制灯温和使用高稳定性的电源来控制。O3阀门装于O3发生器之前，当03系统用于传递标准或气相滴定时此阀门才开启。 气相滴定（GPT） GPT是通过把已知浓度的NO和03相混合，并使