外差干涉测量仪研究——毕业论文.docVIP

毕业论文 外差干涉测量仪的研究 学 院： 专 业： 学生姓名： 学 号： 指导教师： 2012 年 6 月摘 要 外差干涉测量仪又称双频干涉仪或交流干涉仪，它具有精度高、应用范围广、环境适应能力强、实时动态测速高等一系列无可比拟的优势，因而被广泛应用于几何量计量活动。它是利用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束，通过光电探测器的混频，输出差频信号。同时被测物体的位移变化引起的光波相位或频率的变化载于此差频上，经解调即可获得被测数据。本文便是根据外差干涉测量仪的发展，对外差干涉测量仪的原理、应用及其在测量微小位移方面的原理进行了详细介绍和软件模拟。 关键词：外差干涉测量仪，单频激光干涉仪，测距，激光，声光调制器 Abstract Heterodyne interferometer, also known as dual frequency interferometer or AC interferometer, has a high precision, wide range of applications, the ability to ada